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J-GLOBAL ID：201902298372949871   整理番号：19A0491621

環境走査Electron顕微鏡を用いたナノ結晶Cr2O3膜のその場熱処理研究【JST・京大機械翻訳】

In-Situ Heat Treatment Study on the Nanocrystalline Cr2O3 Film Using an Environmental Scanning Electron Microscope

著者 (9件)： Wang Tie-Gang (Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Manufacturing, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China) ,  Wang Tie-Gang (Department of Mechanical Engineering, Lund University, Box 118, SE-22100 Lund, Sweden) ,  Wang Tie-Gang (Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan 609-735, Korea) ,  Dong Yu (Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Manufacturing, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China) ,  Liu Yanmei (Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Manufacturing, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China) ,  Iyengar Srinivasan (Department of Mechanical Engineering, Lund University, Box 118, SE-22100 Lund, Sweden) ,  Kim Kwang Ho (Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan 609-735, Korea) ,  Yang Zubing (Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Manufacturing, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China) ,  Yang Zubing (Tianjin Shuangxin Machinery Manufacturing Co., Tianjin 300480, China)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 7  号： 12  ページ： 225  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,加熱過程でSiウエハ上に堆積したナノ結晶Cr2O3膜の表面形態変化を,環境走査電子顕微鏡(ESEM)によりその場観察した。Cr2O3膜は熱応力の原因により高温で割れた。膜表面上の対応する亀裂面積割合を,濃淡値解析の原理に基づく画像解析ソフトウェア(SISC IAS V8.0)を用いてリアルタイムに評価した。一方,Cr2O3膜の亀裂面積百分率,相成分,および粒径に及ぼす加熱温度の影響も詳細に研究した。結果は,膜表面上の亀裂面積の割合が最初に加熱温度上昇と共に増加し,980°C付近で最大値に達し,次に再び徐々に低下することを示した。上記の傾向は,膜中の熱応力と粒成長の変化に密接に関連している。さらに,熱処理はCr2O3膜の粒径に強い影響を及ぼした。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 加熱温度 ,  *ナノ結晶 ,  高温 ,  *熱処理 ,  *顕微鏡 ,  粒径 ,  *走査 ,  熱応力 ,  その場観察 ,  結晶成長 ,  亀裂 ,  相組成 ,  *酸化クロム
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  Electron , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Cr_2O_3膜 ,  アークイオンめっき ,  その場観察 ,  亀裂面積率 ,  ESEM ,  粒径

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (28件)：

• Singh, B.K.; Mondal, B.; Mandal, N. Machinability evaluation and desirability function optimization of turning parameters for Cr2O3 doped zirconia toughened alumina (Cr-ZTA) cutting insert in high speed machining of steel. Ceram. Int. 2016, 42, 3338-3350.
• Gago, R.; Vinnichenko, M.; Hübner, R.; Redondo-Cubero, A. Bonding structure and morphology of chromium oxide films grown by pulsed-DC reactive magnetron sputter deposition. J. Alloys Compd. 2016, 672, 529-535.
• Vesel, A.; Mozetic, M.; Balat-Pichelin, M. Reduction of a thin chromium oxide film on Inconel surface upon treatment with hydrogen plasma. Appl. Surf. Sci. 2016, 387, 1140-1146.
• Khojier, K.; Savaloni, H.; Ashkabusi, Z.; Dehnavi, N.Z. Structural, mechanical and tribological characterization of chromium oxide thin films prepared by post-annealing of Cr thin films. Appl. Surf. Sci. 2016, 284, 489-496.
• Shaukat, S.; Khaleeq-ur-Rahman, M.; Ilyas, U.; Latif, A.; Rawat, R.S. Structural, morphological and optical changes in periodic fractal nanosymmetries of Ni doped chromium oxide ceramic nanostructures. Ceram. Int. 2016, 42, 4952-4963.

タイトルに関連する用語 (7件)： 環境 ,  走査 ,  顕微鏡 ,  ナノ結晶 ,  Cr2O3 ,  熱処理 ,  研究