マイクロレンズアレイの欠陥検査方法及び欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：家入健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-189388
公開番号（公開出願番号）：特開2015-055561
特許番号：特許第6487617号
出願日： 2013年09月12日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一つの光源から、複数のマイクロレンズが面内に配列されたマイクロレンズアレイに、その各マイクロレンズに対して少しずつ入射光軸の異なる光が入射するような発散光を照射し、前記マイクロレンズアレイを透過した光を、前記マイクロレンズ単位で分離した集光スポットを取り込み可能な位置で、前記マイクロレンズ単位で分離した複数の集光スポットの画像を、撮像素子を用いて撮像し、前記撮像した複数の集光スポットの画像から、前記マイクロレンズ単位で欠陥の有無を検出する、マイクロレンズアレイの欠陥検査方法。

IPC (1件)：