特許
J-GLOBAL ID：201903001183046348

チャックテーブルおよびこのチャックテーブルの製造方法

発明者：
水島 亮

水島 亮 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (4件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子 ,  鹿角 剛二 ,  金子 吉文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-083897
公開番号（公開出願番号）：特開2019-192777
出願日： 2018年04月25日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
要約：
【課題】吸引力を作用させた際には板状物および分割されたチップを確実に吸引保持することができると共に、吸引力を解除した際には分割されたチップを確実に搬出することができるチャックテーブルおよびこのチャックテーブルの製造方法を提供する【解決手段】チャックテーブル22は、板状物を保持する表面10aを有するラバー10と、ラバー10の裏面を支持する基台12とから構成されている。ラバー10の表面10aには、分割予定ライン6に対応して切削ブレードの切り込みを受け入れる複数の逃げ溝14と、逃げ溝14によって区画された領域に個々のチップ4を吸引保持する吸引孔16とが形成されている。基台12には、吸引孔16に連通する連通孔が形成されている。ラバー10の表面10aは、研削砥石20によって粗面に形成されている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
複数のチップが分割予定ラインによって区画され一体に形成された板状物を切削ブレードで分割予定ラインを切断して個々のチップに分割する際に用いられるチャックテーブルであって、 板状物を保持する表面を有するラバーと、該ラバーの裏面を支持する基台とから構成され、 該ラバーの表面には、分割予定ラインに対応して切削ブレードの切り込みを受け入れる複数の逃げ溝と、該逃げ溝によって区画された領域に個々のチップを吸引保持する吸引孔とが形成され、 該基台には、該吸引孔に連通する連通孔が形成され、 該ラバーの表面は、研削砥石によって粗面に形成されているチャックテーブル。
IPC (4件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/683 ,  B24B 41/06 ,  B24B 27/06
FI (4件)：
H01L21/78 N ,  H01L21/68 P ,  B24B41/06 Z ,  B24B27/06 M
Fターム (27件)：
3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034BB75 ,  3C034DD10 ,  3C158AA03 ,  3C158AA19 ,  3C158AB04 ,  3C158CA01 ,  3C158CB03 ,  3C158DA17 ,  5F063AA21 ,  5F063BA17 ,  5F063CA04 ,  5F063FF03 ,  5F063FF04 ,  5F063FF11 ,  5F131AA02 ,  5F131AA04 ,  5F131BA52 ,  5F131CA32 ,  5F131EA05 ,  5F131EB02 ,  5F131EB54 ,  5F131EB58 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79
引用特許：
審査官引用 (10件)
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