特許
J-GLOBAL ID：201903001302136466
切削工具切れ刃形状測定装置及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田中 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-218011
公開番号（公開出願番号）：特開2019-090638
出願日： 2017年11月13日
公開日（公表日）： 2019年06月13日
要約：
【課題】先端径が20ナノメートル以下の原子間力顕微鏡プローブを用いて、精密切削工具切れ刃形状を評価する際に、特別に高精度な標準試料等を用いることなく、自律的に工具エッジ形状と原子間力顕微鏡プローブ形状を分離して絶対測定を実現する技術を提供する。【解決手段】測定対象の精密切削工具切れ刃形状と、軟質金属表面にその形状が転写された反転エッジを同じ原子間力顕微鏡プローブで走査して、測定した二つのエッジ形状のデータの差動演算から、自律的に工具エッジ形状と原子間力顕微鏡プローブチップ形状を分離して測定する。工具エッジ形状とその反転形状を同じ環境で計測した結果の差動演算から、原子間力顕微鏡プローブチップと工具エッジ形状を分離して同時に求める絶対測定ができる。また、機械的電磁的環境外乱も差動演算で除去することができ、加工機上でもサブナノメートルの目標精度を実現することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡のカンチレバープローブと、該カンチレバープローブにかかる荷重が一定になるようフィードバック制御を行なうプローブ制御部と、測定対象である精密切削工具の先端形状を転写するための軟質金属ワークと、該軟質金属ワークを、前記精密切削工具に対面する位置に保持する軟質金属ワーク保持ホルダーと、前記軟質金属ワークに前記精密切削工具を押し込む工具押込み機構と、前記軟質金属ワークを保持した軟質金属ワーク保持ホルダーと前記精密切削工具とを前記プローブ制御部に搭載するためのツールマウントと、該ツールマウントを搭載した工具押込み機構を原子間力顕微鏡プローブに近接するための移動機構とを有することを特徴とする切削工具切れ刃形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2F069AA66
, 2F069BB02
, 2F069DD13
, 2F069DD15
, 2F069DD19
, 2F069EE03
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG18
, 2F069GG54
, 2F069GG58
, 2F069HH02
, 2F069HH09
, 2F069JJ04
, 2F069LL03
, 2F069MM21
, 2F069MM23
, 2F069MM32
, 2F069PP04
, 2F069QQ04
, 2F069RR03
