特許
J-GLOBAL ID：201903004320147199

評価装置及び評価方法

発明者：
荒木 要

荒木 要 について

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滝下 峰史

滝下 峰史 について

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上野 宏和

上野 宏和 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  小谷 昌崇 ,  西谷 浩治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-027537
公開番号（公開出願番号）：特開2019-144063
出願日： 2018年02月20日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：
【課題】螺旋状の溝が表面に形成された測定対象物に対して、センサの誤差、測定対象物の形状変化にかかわらず、溝の断面形状を正確に評価する。【解決手段】評価装置は、測定対象物300に形成された第1溝302の第1断面C1の形状を評価する。評価装置は、第1断面C1の設計値と同じ設計値である第2断面C2を有する第2溝402が形成された基準物400と、第2位置Z2でセンサに第2断面C2の形状を測定させる処理、及び、第1位置Z1でセンサに第1断面C1の形状を測定させる処理をする測定部と、第2断面C2の形状データと第1断面C1の形状データとの差分に基づいて、第1断面C1の形状を評価する評価部と、を備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
測定対象物の中心軸に対して螺旋状に前記測定対象物の表面に形成された第1溝を有する前記測定対象物に対して、第1位置で測定される、前記第1溝の幅方向に沿った前記第1溝の第1断面の形状を評価する評価装置であって、 前記第1断面の設計値と同じ設計値である第2断面を有する第2溝が形成された基準物と、 前記中心軸に沿って移動し、非接触で断面形状を測定するセンサを備え、第2位置で前記センサに前記第2断面の形状を測定させる処理、及び、複数の測定位置で前記センサに前記第1溝の幅方向に沿った前記第1溝の断面の形状を測定させる処理をする測定部と、 複数の前記測定位置で前記第1溝の断面の形状が測定されて得られた複数の断面の形状データのそれぞれと、前記第2位置で前記第2断面の形状が測定されて得られた前記第2断面の形状データとの差分を示す複数の差分データを算出する第1算出部と、 前記差分データの近似直線の傾き値を算出する処理を、複数の前記差分データのそれぞれに対して実行することにより、複数の前記傾き値を算出する第2算出部と、 複数の前記測定位置と複数の前記傾き値との関係を示す傾きデータの近似直線において、前記傾き値がゼロの位置を前記第1位置と決定する決定部と、 前記第2断面の形状データと、前記決定部が決定した前記第1位置で、前記測定部が前記センサに前記第1断面の形状を測定させて得られた前記第1断面の形状データとの差分に基づいて、前記第1断面の形状を評価する評価部と、を備える評価装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (1件)：
G01B11/24 A
Fターム (12件)：
2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065CC10 ,  2F065CC22 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065MM02 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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