特許
J-GLOBAL ID：201903007090708888

窒化アルミニウム結晶の製造方法

発明者：
福山 博之

福山 博之 について

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安達 正芳

安達 正芳 について

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浜谷 苑子

浜谷 苑子 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東北大学

国立大学法人東北大学 について


代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-087979
公開番号（公開出願番号）：特開2019-194133
出願日： 2018年05月01日
公開日（公表日）： 2019年11月07日
要約：
【課題】結晶中に貫通転位やミスフィット転位、歪みが発生するのを防ぐことができる窒化アルミニウム結晶の製造方法の提供。【解決手段】Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させる窒化アルミニウム結晶の製造方法。窒化アルミニウム結晶の成長中、融液を合金の液相線温度以上で、窒化アルミニウムの解離温度または融点より低い温度に保つ窒化アルミニウム結晶の製造方法。合金は、Alと、Alよりも窒化物を形成しにくく、融点が窒化アルミニウムの解離温度または融点より低い元素(Ni、Cu、Fe、Co)とを、主成分として含んでいる窒化アルミニウム結晶の製造方法。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、前記融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させることを特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/38 ,  C30B 19/04 ,  C30B 19/10 ,  H01L 21/208
FI (4件)：
C30B29/38 C ,  C30B19/04 ,  C30B19/10 ,  H01L21/208 Z
Fターム (17件)：
4G077AA03 ,  4G077BE13 ,  4G077CG01 ,  4G077CG07 ,  4G077EA02 ,  4G077EH07 ,  4G077HA02 ,  4G077QA01 ,  4G077QA12 ,  4G077QA38 ,  5F053AA42 ,  5F053AA50 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG01 ,  5F053LL01 ,  5F053RR03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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