特許
J-GLOBAL ID：201903007834851021

基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム

発明者：
守田 修

守田 修 について

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山岡 雄治

山岡 雄治 について

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久保 修一

久保 修一 について

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越巻 寿朗

越巻 寿朗 について

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北本 博之

北本 博之 について


出願人/特許権者：
株式会社KOKUSAI ELECTRIC

株式会社KOKUSAI ELECTRIC について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-229665
公開番号（公開出願番号）：特開2019-114784
出願日： 2018年12月07日
公開日（公表日）： 2019年07月11日
要約：
【課題】複数の処理モジュールを使用することにより、近年の少量多品種生産に伴う少ロット生産において、量産対応可能な構成を提供する。【解決手段】製品基板とダミー基板を含む複数枚の基板を保持する基板保持具と、基板保持具に載置可能な基板枚数と、基板保持具に載置される製品基板の枚数と、を少なくとも含む装置パラメータを記憶する記憶部と、該装置パラメータに応じて、基板が搬送される順番を示す搬送順情報と、基板保持具に載置される基板の搬送元情報と、基板を処理する処理室を示す搬送先情報を含む基板移載データを作成する制御部と、を備え、作成された基板移載データを読み出し、基板保持具上の基板保持領域のうち均熱領域以外の基板保持領域にダミー基板を移載させ、残った基板保持具上の基板保持領域のうち均熱領域に製品基板を移載させる構成が提供される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
製品基板とダミー基板を含む複数枚の基板を保持する基板保持具と、 前記基板保持具に載置可能な基板枚数と、前記基板保持具に載置される製品基板の枚数と、を少なくとも含む装置パラメータを記憶する記憶部と、 該装置パラメータに応じて、前記基板が搬送される順番を示す搬送順情報と、前記基板保持具に載置される前記基板の搬送元情報と、前記基板を処理する処理室を示す搬送先情報を含む基板移載データを作成する制御部と、 を備え、 前記制御部は、作成された基板移載データを読み出し、前記基板保持具上の基板保持領域のうち均熱領域以外の基板保持領域にダミー基板を移載させ、残った前記基板保持具上の基板保持領域のうち均熱領域に製品基板を移載させるよう構成された基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/52
FI (4件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 A ,  H01L21/31 B ,  C23C16/52
Fターム (49件)：
4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA40 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030GA12 ,  4K030KA41 ,  5F045AA06 ,  5F045AB33 ,  5F045AC03 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AF19 ,  5F045DP19 ,  5F045EE19 ,  5F045EF03 ,  5F045EF09 ,  5F045EN04 ,  5F131AA02 ,  5F131BA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA22 ,  5F131CA25 ,  5F131CA32 ,  5F131DA08 ,  5F131DA22 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DC26 ,  5F131DD12 ,  5F131DD53 ,  5F131DD74 ,  5F131DD83 ,  5F131EC02 ,  5F131EC05 ,  5F131GA14 ,  5F131GA63 ,  5F131GA88 ,  5F131GB02 ,  5F131GB22 ,  5F131HA02 ,  5F131HA28 ,  5F131HA37 ,  5F131HA44 ,  5F131JA32 ,  5F131JA33
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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