特許

J-GLOBAL ID：201903008102722349

ブレーク装置

発明者： 時本 育往 ,  吉田 圭吾
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012553
公開番号（公開出願番号）：特開2018-099892
特許番号：特許第6460267号
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2018年06月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 一方主面側にスクライブラインが形成されてなる基板を前記スクライブラインに沿ってブレークする装置であって、 前記基板が水平姿勢にて載置されるテーブルと、 前記テーブルの上方に、前記テーブルに対して進退自在に設けられてなるブレーク刃と、 前記ブレーク刃の刃先を撮像可能に配置された撮像手段と、 前記撮像手段による撮像によって得られた前記刃先についての1または複数の撮像画像に基づいて前記ブレーク刃の前記刃先における欠けの有無を検査する刃先検査手段と、 を備え、 前記テーブルが透明であり、前記撮像手段が、前記テーブルの下方に設けられてなり、前記撮像手段は前記テーブルを介して前記刃先を撮像する、 ことを特徴とするブレーク装置。

IPC (6件)：

B28D 5/00 ( 200 6.01) ,  B28D 7/04 ( 200 6.01) ,  B28D 7/00 ( 200 6.01) ,  B26F 3/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  C03B 33/033 ( 200 6.01)

FI (7件)：

B28D 5/00 Z ,  B28D 7/04 ,  B28D 7/00 ,  B28D 5/00 A ,  B26F 3/00 A ,  H01L 21/78 T ,  C03B 33/033

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 脆性材料基板のブレイク方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-006520   出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社
• 脆性材料基板ブレイク装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-184297   出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社
• スクライビングホイール、ホルダユニット、スクライブ装置、スクライビングホイールの製造方法及びスクライブ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-196593   出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社
• 脆性材料基板のブレーク方法及びその装置並びに加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-298424   出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社