特許
J-GLOBAL ID：201903009450746487
汎用マルチプロトコル産業用データロガー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-175540
公開番号（公開出願番号）：特開2019-062198
出願日： 2018年09月20日
公開日（公表日）： 2019年04月18日
要約：
【課題】データを監視および格納する基板処理システムを提供する。【解決手段】データ捕捉モジュール300は、基板処理システムの第1の構成部品から第2の構成部品に送信される第1のデータを受信するように構成された第1のポートと、第2の構成部品から第1の構成部品に送信される第2のデータを受信するように構成された第2のポートと、第1のデータを複製し、複製された第1のデータを第2のポートに転送し、第1のデータを出力するように構成された第1のデータストリーム転送モジュール312-1と、第2のデータを複製し、複製された第2のデータを第1のポートに転送し、第2のデータを出力するように構成された第2のデータストリーム転送モジュール312-2と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板処理システムの第1の構成部品と第2の構成部品との間で送信されるデータを捕捉するためのデータ捕捉モジュールであって、
前記第1の構成部品から前記第2の構成部品に送信される第1のデータを受信するように構成された第1のポートと、
前記第2の構成部品から前記第1の構成部品に送信される第2のデータを受信するように構成された第2のポートと、
(i)前記第1のデータを複製し、(ii)前記複製された第1のデータを前記第2のポートに転送し、(iii)前記第1のデータを出力するように構成された第1のデータストリーム転送モジュールと、
(i)前記第2のデータを複製し、(ii)前記複製された第2のデータを前記第1のポートに転送し、(iii)前記第2のデータを出力するように構成された第2のデータストリーム転送モジュールと、
前記第1のデータストリーム転送モジュールから出力された前記第1のデータ、および、前記第2のデータストリーム転送モジュールから出力された前記第2のデータを圧縮するように構成されたデータ圧縮モジュールと、
前記圧縮された第1のデータおよび前記圧縮された第2のデータを格納するように構成されたデータ記憶装置と、を備え、
前記第1のポートは、前記複製された第2のデータを前記第1の構成部品に送信するように構成され、前記第2のポートは、前記複製された第1のデータを前記第2の構成部品に送信するように構成される、データ捕捉モジュール。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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