真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレード

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-046156
公開番号（公開出願番号）：特開2019-056364
出願日： 2018年03月14日
公開日（公表日）： 2019年04月11日
要約：

【課題】真空ポンプのガス分子排気性能を損なうことなく、真空ポンプから真空チャンバへの粒子の逆流を効果的に防止することができ、逆流の粒子による真空チャンバ内の汚染を防止するのに好適な、真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレードを提供する。【解決手段】真空ポンプは、吸気口から排気口までの間に、ガス分子を排気する手段として機能する複数の排気段PTを有するとともに、複数の排気段PTのうち最上段の排気段PT(PT1)から吸気口までの間に、ガス分子の排気方向に粒子を移送する粒子移送段として、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7(71、75)と一緒に回転し、かつ、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7の枚数よりも少ない枚数のブレードNBを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

吸気口から排気口までの間に、ガス分子を排気する手段として機能する複数の排気段を有し、前記複数の排気段は、排気段ごとに、放射状に所定間隔で配置された複数の回転ブレードと固定ブレードとにより前記ガス分子を排気する構造になっている真空ポンプであって、前記複数の排気段のうち最上段の排気段から前記吸気口までの間に、前記ガス分子の排気方向に粒子を移送する粒子移送段として、前記最上段の排気段を構成する前記複数の回転ブレードと一緒に回転し、かつ、前記最上段の排気段を構成する前記複数の回転ブレードの枚数よりも少ない枚数のブレードを備えたことを特徴とする真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04

FI (2件)：

F04D19/04 D , F04D19/04 E

Fターム (6件)：

3H131AA01 , 3H131AA02 , 3H131AA07 , 3H131BA00 , 3H131CA02 , 3H131CA31

引用特許：

審査官引用 (5件)

真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-019295 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-149097 出願人：セイコー精機株式会社
分子の速度および方向の選択
公報種別：公表公報出願番号：特願2005-509966 出願人：フォースト・フィジックス・コーポレイション

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