特許
J-GLOBAL ID:201903010284282149

膜型表面応力センサーを用いた水素センサー及び水素検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-155808
公開番号(公開出願番号):特開2019-035613
出願日: 2017年08月10日
公開日(公表日): 2019年03月07日
要約:
【課題】水素をその爆発限界よりも十分低い濃度で検出する高感度の水素センサーを提供する。【解決手段】膜型表面応力センサー(MSS)の感応膜としてPd等の水素吸蔵材料の極めて薄い膜(30nm以下)を使用した水素センサーにより、この課題を達成した。Pdを使用し、膜厚を20nmとした場合、水素濃度が5ppmでも十分に検出できた。また、水素吸蔵は一般に長時間を要するプロセスであるが、本発明の水素センサーでは水素を供給し始めた直後のセンサー出力の変化率が大きいことを利用して、検出時間を短縮することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として膜厚が30nm以下の水素吸蔵材料の膜を設けた水素センサー。
IPC (2件):
G01N 5/02 ,  G01N 33/00
FI (2件):
G01N5/02 A ,  G01N33/00 C
引用特許:
審査官引用 (7件)
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