特許
J-GLOBAL ID：201403055341863672
β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法、β型ポリフッ化ビニリデン膜及びβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電式センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-186910
公開番号（公開出願番号）：特開2014-043514
出願日： 2012年08月27日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：
【課題】大掛かりな設備を必要とせず且つ簡便な方法で製造できる圧電特性に優れ且つ純度の高いβ型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法、β型ポリフッ化ビニリデン膜、β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電式センサを提供する。【解決手段】β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法は、ポリフッ化ビニリデンとポリフッ化ビニリデンを溶解してβ型に固定する水溶性極性溶媒と水溶性極性溶媒よりも沸点が低い有機溶媒とを混合して塗布液を形成する工程と、得られた塗布液を基板に塗布して塗布膜を形成する工程と、塗布膜を乾燥する工程と、乾燥した膜を水洗する工程とを含む。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法であって、
ポリフッ化ビニリデンと、該ポリフッ化ビニリデンを溶解してβ型に固定する水溶性極性溶媒と、前記水溶性極性溶媒よりも沸点が低い有機溶媒とを混合して塗布液を形成する工程と、
得られた塗布液を基板に塗布して塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜を乾燥する工程と、
乾燥した膜を水洗する工程とを含むことを特徴とするβ型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法。
IPC (5件)：
C08J 5/18
, H01L 41/08
, H01L 41/193
, H01L 41/45
, G01N 5/02
C08J5/18
, H01L41/08 Z
, H01L41/08 H
, H01L41/18 102
, H01L41/22 C
, G01N5/02 A
4F071AA26
, 4F071AF11
, 4F071AF36
, 4F071AH12
, 4F071BA02
, 4F071BB02
, 4F071BC01
, 4F071BC13
