変位検出装置および物体の変位を測定する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-149827
公開番号（公開出願番号）：特開2019-032325
出願日： 2018年08月09日
公開日（公表日）： 2019年02月28日
要約：

【課題】物体の変位の変化を高精度で測定できる変位検出装置及び方法を提供する。【解決手段】発光素子101と、光学素子102と、光分割素子104と、感知素子106とを備え、物体107が前記光分割素子と前記感知素子との間で移動するとき、または前記物体が前記光分割素子と前記光学素子との間で移動するとき、前記物体の変位に対応する感知素子の光感知変化に基づいて前記物体の変位を測定することによって物体の変位変化を高精度にタイムリーな監視を実現することを目的とする。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

変位検出装置であって、光線を提供するための発光素子と、前記発光素子の一方の側に配置され、前記光線を平行ビームに変換するための光学素子と、前記光学素子の一方の側に配置され、前記平行ビームを複数の平行光線に分割するための光分割素子と、前記光分割素子の一方の側に配置された感知素子と、を含み、物体が前記光分割素子と前記感知素子との間または前記光分割素子と前記光学素子との間に位置する場合、前記物体は、前記複数の平行光線の一部を遮断し、前記物体は前記複数の平行光線の他部を前記感知素子に投光させ、前記感知素子は光線感知を生成し、前記物体が前記光分割素子と前記感知素子との間を移動する時、あるいは、前記物体が前記光分割素子と前記光学素子との間を移動する時、前記感知素子は、異なる光線感知の変化を反映し、前記物体の変位に対応する前記感知素子による光線感知の変化によって、前記物体の変位を測定する変位検出装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 C

Fターム (18件)：

2F065AA02 , 2F065AA09 , 2F065DD03 , 2F065FF02 , 2F065GG04 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ09 , 2F065JJ16 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL28 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065MM02 , 2F065PP22 , 2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (7件)

計測装置、液滴吐出装置、および計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-379202 出願人：セイコーエプソン株式会社
位置検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-035928 出願人：アズビル株式会社
光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-026395 出願人：シャープ株式会社

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