特許
J-GLOBAL ID:200903066421911394
計測装置、液滴吐出装置、および計測方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-379202
公開番号(公開出願番号):特開2006-184161
出願日: 2004年12月28日
公開日(公表日): 2006年07月13日
要約:
【課題】 飛翔する被計測物の飛翔経路のずれを容易に検出すること。【解決手段】 計測装置は、第1断面幅を有する第1光ビームを射出する第1光発生部と、前記第1断面幅の方向に沿って前記第1光ビームの強度を変える第1光学フィルタと、前記第1光学フィルタを経た前記第1光ビームを受光する第1光検出器と、を備えている。ここで、前記第1光学フィルタと前記第1光検出器との間の光路上の所定部にて、第1方向への速度成分を有する被計測物が前記第1光ビームを通過するように、前記第1光検出器が配置されている。そして、前記所定部において、前記第1方向は、前記第1光ビームの方向および前記第1断面幅の方向のそれぞれに対してほぼ垂直である。さらに、前記所定部において、前記第1断面幅は前記被計測物の幅以上である。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
第1断面幅を有する第1光ビームを射出する第1光発生器と、
前記第1断面幅の方向に沿って前記第1光ビームの強度を変える第1光学フィルタと、
前記第1光学フィルタを経た前記第1光ビームを受光する第1光検出器と、
を備えた計測装置であって、
前記第1光学フィルタと前記第1光検出器との間の光路上の所定部にて、第1方向への速度成分を有する被計測物が前記第1光ビームを通過するように、前記第1光検出器が配置されていて、
前記所定部において、前記第1方向は、前記第1光ビームの方向および前記第1断面幅の方向のそれぞれに対してほぼ垂直であり、
前記所定部において、前記第1断面幅は前記被計測物の幅以上である、
計測装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (18件):
2F065AA03
, 2F065AA07
, 2F065AA20
, 2F065BB05
, 2F065BB15
, 2F065FF02
, 2F065GG05
, 2F065GG13
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065LL04
, 2F065LL21
, 2F065LL30
, 2F065LL33
, 2F065LL46
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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液体分注装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-315604
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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偏心量測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-054833
出願人:オムロン株式会社
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特開昭63-048403
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特開昭63-048403
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物体形状計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-350494
出願人:ソニー株式会社
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エッジ検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-264244
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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ピンホール検査方法及びピンホール検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-084868
出願人:セイコーエプソン株式会社
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特開昭62-259007
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