特許
J-GLOBAL ID：201903012098607995

弾性波装置

発明者：
木間 智裕

木間 智裕 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-526230
特許番号：特許第6589983号
出願日： 2016年06月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電基板と、 前記圧電基板上に設けられたIDT電極と、 を備え、 前記IDT電極が、最表層の電極層と、前記最表層の電極層よりも下側に形成されている第1電極層とを有する複数の電極層と、前記最表層の電極層を保護する保護電極層と、 を有しており、 前記保護電極層は、前記最表層の電極層より電気抵抗率が大きく、 前記最表層の電極層が、前記圧電基板側とは反対側に位置している第1の主面と、該第1の主面に連なる側面と、前記第1の主面と対向している第2の主面とを有し、 前記最表層の電極層における前記第1の主面と、前記第1の主面から前記側面の少なくとも一部に至る領域とが、前記保護電極層により覆われており、 前記保護電極層が、前記最表層の電極層の前記側面の下端を越えておらず、 前記第1電極層が、前記最表層の電極層を構成している金属よりも密度の大きい金属であるPt及びAuのうち少なくとも一方により構成されている、弾性波装置。
IPC (1件)：
H03H 9/145 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H03H 9/145 Z ,  H03H 9/145 C
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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