研磨加工用パッド及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩川修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-048812
公開番号（公開出願番号）：特開2019-155572
出願日： 2018年03月16日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：

【課題】研磨パッドや保持パッドの製造段階で、湿式成膜されたポリウレタン気泡シートのバフィング処理によって開口される気泡空間におけるバフ粉の残留を低減させ、被研磨物に生ずる微小欠陥や付着欠陥を低減させること。【解決手段】湿式成膜により形成された複数の気泡を内在するポリウレタン気泡シートからなる研磨加工用パッドにおいて、ポリウレタン気泡シートの三次元計測X線CTにより測定した表面から深さ100μmの断層画像における16.4mm2の測定領域内で、気泡空間を海部としたときに当該海部上に存在する島部の個数が70個以下であるもの。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湿式成膜により形成された複数の気泡を内在し、表面に開口を有するポリウレタン気泡シートであって研磨パッドや保持パッドとして用いられる研磨加工用パッドにおいて、ポリウレタン気泡シートの三次元計測X線CTにより測定した表面から深さ100μmの断層画像における16.4mm2の測定領域内で、気泡空間を海部としたときに当該海部上に存在する島部の個数が70個以下であることを特徴とする研磨加工用パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/24 , H01L 21/304

FI (2件)：

B24B37/24 C , H01L21/304 622F

Fターム (22件)：

3C158AA07 , 3C158AC04 , 3C158CA01 , 3C158CB01 , 3C158DA01 , 3C158DA17 , 3C158EA11 , 3C158EB01 , 3C158EB10 , 3C158EB28 , 5F057AA03 , 5F057AA21 , 5F057AA24 , 5F057BA11 , 5F057BB03 , 5F057CA11 , 5F057DA02 , 5F057EB03 , 5F057EB06 , 5F057EB07 , 5F057EB08 , 5F057EB30

引用特許：

出願人引用 (9件)

研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-026167 出願人：富士紡ホールディングス株式会社
研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-197112 出願人：富士紡ホールディングス株式会社
保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-303488 出願人：富士紡ホールディングス株式会社

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審査官引用 (10件)

研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-026167 出願人：富士紡ホールディングス株式会社
研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-197112 出願人：富士紡ホールディングス株式会社
保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-303488 出願人：富士紡ホールディングス株式会社

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