特許
J-GLOBAL ID：201803016291116484

研磨パッド及びその製造方法

発明者：
笹谷 健太

笹谷 健太 について

, 
真鍋 一樹

真鍋 一樹 について


出願人/特許権者：
富士紡ホールディングス株式会社

富士紡ホールディングス株式会社 について


代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-157765
公開番号（公開出願番号）：特開2018-024061
出願日： 2016年08月10日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
要約：
【課題】スラリの拡散性に優れ、かつ製品寿命が長い研磨パッドを提供する。【解決手段】被研磨物を研磨するための研磨面Sを有し、ポリウレタン発泡体からなる樹脂シート310を備え、樹脂シート310は当該ポリウレタン発泡体中に複数の気泡214bを有し、かつ、複数の気泡214bの少なくとも一部が互いに連結した連結気泡であり、樹脂シート310において、CTスキャンによって測定される最大連結気泡の体積が気泡の総体積に対して90%以上であり、かつ、CTスキャンによって測定される気泡の比表面積が樹脂シート310の見掛け体積に対して25mm2/mm3以上50mm2/mm3以下である、研磨パッド300。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被研磨物を研磨するための研磨面を有し、ポリウレタン発泡体からなるポリウレタン樹脂シートを備え、 前記ポリウレタン樹脂シートは、前記ポリウレタン発泡体中に複数の気泡を有し、かつ、該複数の気泡の少なくとも一部が互いに連結した連結気泡であり、 前記ポリウレタン樹脂シートにおいて、CTスキャンによって測定される最大連結気泡の体積が、前記気泡の総体積に対して、90%以上であり、かつ、CTスキャンによって測定される前記気泡の比表面積が、前記ポリウレタン樹脂シートの見掛け体積に対して、25mm2/mm3以上50mm2/mm3以下である、 研磨パッド。
IPC (4件)：
B24B 37/24 ,  H01L 21/304 ,  C08G 18/00 ,  C08J 5/14
FI (4件)：
B24B37/00 P ,  H01L21/304 622F ,  C08G18/00 G ,  C08J5/14
Fターム (93件)：
3C158CA01 ,  3C158CB03 ,  3C158CB05 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB11 ,  3C158EB19 ,  3C158EB20 ,  3C158EB28 ,  3C158EB29 ,  4F071AA53 ,  4F071AF13 ,  4F071AF22 ,  4F071AF57 ,  4F071AG02 ,  4F071AH12 ,  4F071AH17 ,  4F071DA20 ,  4J034BA06 ,  4J034BA07 ,  4J034BA08 ,  4J034CA02 ,  4J034CA04 ,  4J034CA15 ,  4J034CA17 ,  4J034CB07 ,  4J034CB08 ,  4J034CC03 ,  4J034CC12 ,  4J034CC26 ,  4J034CC45 ,  4J034CC61 ,  4J034CC62 ,  4J034CC65 ,  4J034CC67 ,  4J034CD13 ,  4J034DA01 ,  4J034DB03 ,  4J034DF01 ,  4J034DF02 ,  4J034DF12 ,  4J034DF16 ,  4J034DF20 ,  4J034DG06 ,  4J034HA01 ,  4J034HA02 ,  4J034HA07 ,  4J034HB07 ,  4J034HC03 ,  4J034HC12 ,  4J034HC13 ,  4J034HC17 ,  4J034HC22 ,  4J034HC46 ,  4J034HC52 ,  4J034HC61 ,  4J034HC64 ,  4J034HC67 ,  4J034HC71 ,  4J034HC73 ,  4J034JA42 ,  4J034KA01 ,  4J034KB02 ,  4J034KB05 ,  4J034KD03 ,  4J034KD12 ,  4J034KE02 ,  4J034LA24 ,  4J034NA01 ,  4J034NA03 ,  4J034NA08 ,  4J034NA09 ,  4J034QA01 ,  4J034QA02 ,  4J034QA03 ,  4J034QA05 ,  4J034QB01 ,  4J034QB14 ,  4J034QC01 ,  4J034QC08 ,  4J034QD03 ,  4J034RA13 ,  4J034RA14 ,  5F057AA25 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057BB40 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057EB03 ,  5F057EB07 ,  5F057EB13
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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