特許
J-GLOBAL ID：200903007199217895
保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-303488
公開番号（公開出願番号）：特開2008-119861
出願日： 2006年11月09日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：
【課題】保持面の平坦性を向上させることができ、被研磨物を確実に保持することができる保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法を提供する。【解決手段】成膜工程では、湿式成膜法でポリウレタン樹脂をシート状に形成し、ポリウレタンシートを得る。密着工程では、保持面となるポリウレタンシートのスキン層の表面に平坦な表面を有しポリウレタンシートより硬いフィルム状基材を加圧して密着させ、密着体を形成する。巻取工程では、密着体を正のドラフトで巻き取って巻取体を形成する。加熱工程では、ポリウレタンシートがフィルム状基材を密着させローラに巻き取られた巻取体の状態で、30〜50°Cの温度下で12〜48時間加熱される。加熱によりフィルム状基材の平坦な表面がポリウレタンシートの保持面に転写される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被研磨物を保持するための保持面を有し前記保持面側に微多孔が形成された保持パッド用ポリウレタンシートの表面平坦化方法であって、
湿式成膜法で形成されたポリウレタンシートの前記保持面に、平坦な表面を有し前記ポリウレタンシートより硬いフィルム状基材を加圧して密着させ、密着体を形成する密着体形成ステップと、
前記密着体形成ステップで形成された密着体を正のドラフトで巻き取って巻取体を形成する巻取体形成ステップと、
前記巻取体形成ステップで形成された巻取体を所定時間加熱する加熱ステップと、
を含む表面平坦化方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
3C058AA07
, 3C058AB04
, 4F201AA24
, 4F201AA31
, 4F201AC03A
, 4F201AE08
, 4F201AG03
, 4F201AH81
, 4F201AR02
, 4F201AR06
, 4F201AR11
, 4F201BA07
, 4F201BC01
, 4F201BC13
, 4F201BQ25
, 4F201BR02
, 4F201BR05
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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