特許
J-GLOBAL ID：201903012791184747

液体精製カートリッジ及び液体の精製方法

発明者：
矢野 大作

矢野 大作 について

, 
蔦野 恭平

蔦野 恭平 について

, 
大橋 伸一

大橋 伸一 について


出願人/特許権者：
オルガノ株式会社

オルガノ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人あしたば国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-090530
公開番号（公開出願番号）：特開2019-195763
出願日： 2018年05月09日
公開日（公表日）： 2019年11月14日
要約：
【課題】半導体製造工程に用いられる水、水溶液又は有機溶媒中の金属等の不純物を除去するための液体精製カートリッジであって、イオン性金属等の不純物及び微粒子金属等の不純物の両方の除去性能に優れ、且つ、処理流量が多く、且つ、寿命が長い液体精製カートリッジ及びそれを用いる液体の精製方法を提供すること。【解決手段】被処理液の導入口4と処理液の排出口5が形成され、処理材が充填されているカートリッジ容器10と、該カートリッジ容器内の処理材充填領域9a,9bの上流側に充填されているイオン交換体2と、該カートリッジ容器内の処理材充填領域の下流側に充填されている精密濾過膜3とを有し、該イオン交換体がモノリス状有機多孔質イオン交換体であること、を特徴とする液体精製カートリッジ1a。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
被処理液の導入口と処理液の排出口が形成され、処理材が充填されているカートリッジ容器と、該カートリッジ容器内の処理材充填領域の上流側に充填されているイオン交換体と、該カートリッジ容器内の処理材充填領域の下流側に充填されている精密濾過膜とを有し、該イオン交換体がモノリス状有機多孔質イオン交換体であること、を特徴とする液体精製カートリッジ。
IPC (7件)：
B01J 47/024 ,  B01J 39/19 ,  B01J 41/13 ,  B01J 47/028 ,  B01D 61/16 ,  B01D 61/14 ,  C02F 1/42
FI (7件)：
B01J47/024 ,  B01J39/19 ,  B01J41/13 ,  B01J47/028 ,  B01D61/16 ,  B01D61/14 500 ,  C02F1/42 A
Fターム (29件)：
4D006GA07 ,  4D006HA91 ,  4D006JA05A ,  4D006JA25A ,  4D006JA25C ,  4D006KA01 ,  4D006KA72 ,  4D006KB11 ,  4D006MA01 ,  4D006MA04 ,  4D006MA21 ,  4D006PA01 ,  4D006PB20 ,  4D006PB32 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01 ,  4D006PC02 ,  4D006PC41 ,  4D025AA06 ,  4D025AA09 ,  4D025AB24 ,  4D025AB33 ,  4D025BA08 ,  4D025BA13 ,  4D025BA28 ,  4D025BB02 ,  4D025BB03 ,  4D025BB07 ,  4D025DA05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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