特許
J-GLOBAL ID：201403053384879090
超純水製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
赤塚 賢次
, 福田 保夫
, 阪田 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-190484
公開番号（公開出願番号）：特開2013-255921
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：
【課題】ユースポイントに移送される超純水中に僅かに混入する微粒子とイオン成分の両方を除去し、モジュールの交換頻度を著しく低減する超純水製造装置を提供する。【解決手段】超純水を配管移送してユースポイントに供給する超純水製造装置において、該超純水を移送する配管の途中に、水湿潤状態で平均直径30〜300μmの開口(メソポア)となる連続マクロポア構造体であり、全細孔容積0.5〜5ml/g、水湿潤状態での体積当りのイオン交換容量0.4〜5mg当量/mlであり、且つ該連続マクロポア構造体(乾燥体)の断面に表れる骨格部面積が、単位面積当り25〜50%である有機多孔質イオン交換体を充填したモジュールを設置し、該モジュールで超純水を更に処理する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
超純水を配管移送してユースポイントに供給する超純水製造装置において、該超純水を移送する配管の途中に、気泡状のマクロポア同士が重なり合い、この重なる部分が水湿潤状態で平均直径30〜300μmの開口となる連続マクロポア構造体であり、全細孔容積0.5〜5ml/g、水湿潤状態での体積当りのイオン交換容量0.4〜5mg当量/mlであり、イオン交換基が該多孔質イオン交換体中に均一に分布しており、且つ該連続マクロポア構造体(乾燥体)の切断面のSEM画像において、断面に表れる骨格部面積が、画像領域中25〜50%である有機多孔質イオン交換体を充填したモジュールを設置し、該モジュールで超純水を更に処理することを特徴とする超純水製造装置。
IPC (8件)：
C02F 1/42
, C02F 1/44
, C02F 1/32
, B01J 47/12
, C02F 9/00
, B01D 61/14
, B01J 39/20
, C08J 9/28
C02F1/42 A
, C02F1/44 J
, C02F1/32
, B01J47/12 Z
, C02F9/00 502F
, C02F9/00 502G
, C02F9/00 502J
, C02F9/00 502N
, C02F9/00 502D
, C02F9/00 502P
, C02F9/00 502H
, C02F9/00 503B
, C02F9/00 504B
, B01D61/14
, B01J39/20 F
, C08J9/28
4D006GA03
, 4D006GA06
, 4D006JA71
, 4D006KA01
, 4D006KA52
, 4D006KA55
, 4D006KA57
, 4D006KA72
, 4D006KB04
, 4D006KB11
, 4D006KB12
, 4D006KB13
, 4D006KB14
, 4D006PA01
, 4D006PB02
, 4D006PB04
, 4D006PB05
, 4D006PC01
, 4D025AA04
, 4D025BA08
, 4D025BA13
, 4D025BA24
, 4D025BA28
, 4D025BB02
, 4D025BB04
, 4D025BB08
, 4D025DA03
, 4D025DA04
, 4D025DA05
, 4D025DA10
, 4D037AA03
, 4D037BA18
, 4D037CA01
, 4D037CA02
, 4D037CA03
, 4D037CA08
, 4D037CA15
, 4F074AA32
, 4F074BB01
, 4F074BC02
, 4F074CB32
, 4F074CC04Y
, 4F074CC28Y
, 4F074CC29Y
, 4F074CD14
, 4F074DA02
, 4F074DA03
, 4F074DA13
, 4F074DA43
