加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：松本昂 , 岡本知広 , 笠原崇廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-097229
公開番号（公開出願番号）：特開2019-204821
出願日： 2018年05月21日
公開日（公表日）： 2019年11月28日
要約：

【課題】カセットと、筐体と、の衝突が抑制された加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、複数の被加工物を収容するカセットが置かれるカセット載置台と、該カセット載置台に置かれたカセットと、該チャックテーブルと、の間で被加工物を搬送する搬送ユニットと、被加工物搬出入位置と、退避位置と、の間で該カセット載置台を移動させるカセット載置台移動ユニットと、を備え、該カセット載置台移動ユニットは、天井走行式無人搬送車の昇降機構によって昇降するカセットが該カセット載置台に着脱される際は該カセット載置台を該退避位置に移動させ、該搬送ユニットによるカセットへの被加工物の搬出入が実施される際は該カセット載置台を該被加工物搬出入位置に移動させる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、複数の被加工物を収容するカセットが置かれるカセット載置台と、該カセット載置台に置かれたカセットと、該チャックテーブルと、の間で被加工物を搬送する搬送ユニットと、被加工物搬出入位置と、退避位置と、の間で該カセット載置台を移動させるカセット載置台移動ユニットと、を備え、該カセット載置台移動ユニットは、天井走行式無人搬送車の昇降機構によって昇降するカセットが該カセット載置台に着脱される際は該カセット載置台を該退避位置に移動させ、該搬送ユニットによるカセットへの被加工物の搬出入が実施される際は該カセット載置台を該被加工物搬出入位置に移動させることを特徴とする加工装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , H01L 21/677

FI (2件)：

H01L21/78 N , H01L21/68 A

Fターム (55件)：

5F063AA09 , 5F063AA28 , 5F063AA41 , 5F063AA43 , 5F063BA33 , 5F063BA45 , 5F063BA47 , 5F063BA48 , 5F063DD06 , 5F063DD25 , 5F063DD58 , 5F063DD69 , 5F063DD85 , 5F063EE07 , 5F063EE22 , 5F063EE34 , 5F063EE43 , 5F063EE44 , 5F063FF41 , 5F063FF42 , 5F063FF43 , 5F131AA02 , 5F131BA32 , 5F131BA37 , 5F131BA52 , 5F131CA09 , 5F131CA22 , 5F131CA23 , 5F131CA53 , 5F131DA05 , 5F131DA13 , 5F131DA22 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131DB12 , 5F131DB22 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DC05 , 5F131DC06 , 5F131EA04 , 5F131EA06 , 5F131EA22 , 5F131EB01 , 5F131EC32 , 5F131EC53 , 5F131EC62 , 5F131EC72 , 5F131EC73 , 5F131EC74 , 5F131EC75 , 5F131GA03 , 5F131GA63 , 5F131HA43

引用特許：

審査官引用 (4件)

カセット内に収納された基板の検出機構および検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-207666 出願人：株式会社岡本工作機械製作所
容器載置ユニット、容器収納装置、及び処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-291090 出願人：東京エレクトロン株式会社
ロードロック装置、及び基板処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-146912 出願人：東京エレクトロン株式会社

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