化合物、感光性樹脂組成物およびレジスト膜の形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人有古特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-018988
公開番号（公開出願番号）：特開2019-137612
出願日： 2018年02月06日
公開日（公表日）： 2019年08月22日
要約：

【課題】未露光部ではアルカリへの溶解を抑制しながら、露光部では速いアルカリ溶解速度を達成でき、高解像度のポジ型感光性樹脂組成物における溶解抑制剤として作用し得る新規化合物、該化合物を含む感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いたレジスト膜の形成方法の提供。【解決手段】式(1)で表される化合物。ノボラック樹脂、前記化合物、及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を基板上に塗布して、10〜100μmの厚みを有する樹脂膜を形成する工程、該樹脂膜に対して、パターニングマスクを介して活性光線を照射する工程、該樹脂膜にアルカリ液を作用させて露光部を除去して、所定のパターンを有するレジスト膜を形成する工程、を含む、レジスト膜の形成方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される化合物。

IPC (4件)：

C07C 69/712 , G03F 7/039 , G03F 7/004 , G03F 7/20

FI (4件)：

C07C69/712 Z , G03F7/039 601 , G03F7/004 531 , G03F7/20 521

Fターム (21件)：

2H197CA02 , 2H197CA03 , 2H197CA05 , 2H197CE10 , 2H197HA03 , 2H225AF82P , 2H225AL03 , 2H225AL17 , 2H225AL22 , 2H225AM80P , 2H225AN39P , 2H225CA12 , 2H225CB05 , 2H225CC03 , 2H225CC16 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB80 , 4H006BJ20 , 4H006BP30 , 4H006KC12

引用特許：

審査官引用 (5件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-299093 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感放射線性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-141737 出願人：富士写真フイルム株式会社
厚膜および超厚膜対応化学増幅型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-373069 出願人：クラリアントインターナショナルリミテッド

全件表示

前のページに戻る