特許
J-GLOBAL ID：200903053930869653
厚膜および超厚膜対応化学増幅型感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鐘尾 宏紀
, 野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-373069
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134800
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】磁気ヘッドの磁極やバンプの形成など厚膜レジストパターンの形成が要求される感光性樹脂組成物において、高感度、高残膜性、良好な塗布性、高解像度、良好なパターン形状を有し、耐熱性に優れたパターンが得られる厚膜並びに超厚膜対応化学増幅型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、(B)それ自身はアルカリに不溶または難溶であるが、酸の作用によりアルカリに可溶となる樹脂または化合物、(C)酸発生剤、(D)キノンジアジド基を含む感光剤、必要に応じ(E)アルカリ可溶性アクリル系樹脂および(F)膜質改善のための架橋剤を含有する化学増幅型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、(B)それ自身はアルカリに不溶または難溶であるが、酸の作用により可溶となる樹脂または化合物、(C)酸発生剤および(D)キノンジアジド基を含む感光剤を含有することを特徴とする化学増幅型感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/039
, C08G2/18
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08G2/18
, H01L21/30 502R
2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE01
, 2H025BG00
, 2H025CB29
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J032AA02
, 4J032AA03
, 4J032AA07
, 4J032AA08
, 4J032AA19
, 4J032AA31
, 4J032AB04
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (10件)
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