特許
J-GLOBAL ID：201903014258948410

試料の作製方法、清浄化方法、分析方法および電子顕微鏡用試料

発明者：
押村 信満

押村 信満 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (2件)： 阿仁屋 節雄 ,  福岡 昌浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-198289
公開番号（公開出願番号）：特開2019-082471
出願日： 2018年10月22日
公開日（公表日）： 2019年05月30日
要約：
【課題】試料の変質を抑制しつつ、試料表面のコンタミネーションの発生を抑制し、電子顕微鏡による分析を精度良く行うことが可能な試料の作製方法およびその関連技術を提供する。【解決手段】電子顕微鏡用試料の少なくとも一つの表面に付着した異物をイオンビームにより除去する清浄化工程を有する、試料の作製方法およびその関連技術を提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡用試料の少なくとも一つの表面に付着した異物をイオンビームにより除去する清浄化工程を有する、試料の作製方法。
IPC (2件)：
G01N 1/34 ,  G01N 1/28
FI (2件)：
G01N1/34 ,  G01N1/28 F
Fターム (5件)：
2G052EC18 ,  2G052GA34 ,  2G052HC29 ,  2G052HC34 ,  2G052HC35
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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