特許
J-GLOBAL ID：201603017265953124
試料加工評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人栄光特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-028291
公開番号（公開出願番号）：特開2016-157688
出願日： 2016年02月17日
公開日（公表日）： 2016年09月01日
要約：
【課題】試料を加工し、その場でその試料を多方向からの形態評価を容易に行うことができる試料加工評価装置、または、その場でその試料の特性評価ができる試料加工評価装置を提供する。【解決手段】試料7に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム鏡筒1、2と、試料7の両端を保持する試料ホルダ6と、試料ホルダ6を載置する試料台5と、を備える試料加工評価装置100であって、試料ホルダ6は、試料台5と荷電粒子ビーム鏡筒1、2との間において、回転軸AXを中心として試料7を回転させることが可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも試料に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム鏡筒と、
前記試料の両端を保持する試料ホルダと、
前記試料ホルダを載置する試料台と、を備え、
前記試料ホルダは、前記試料台と前記荷電粒子ビーム鏡筒との間にあって、回転軸を中心として前記試料を回転させることが可能である、試料加工評価装置。
IPC (5件)：
H01J 37/20
, H01J 37/317
, H01J 37/305
, H01J 37/28
, H01J 37/22
H01J37/20 A
, H01J37/317 D
, H01J37/305 A
, H01J37/20 E
, H01J37/20 F
, H01J37/28 B
, H01J37/28 C
, H01J37/22 502H
, H01J37/22 501A
5C001AA08
, 5C001BB01
, 5C001BB02
, 5C001BB04
, 5C001CC01
, 5C001CC04
, 5C001CC08
, 5C033SS07
, 5C033SS10
, 5C033UU05
, 5C033UU10
, 5C034BB09
, 5C034DD09
