エキスパンド方法及びエキスパンド装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-110693
公開番号（公開出願番号）：特開2018-206939
出願日： 2017年06月05日
公開日（公表日）： 2018年12月27日
要約：

【課題】確実にチップ間隔を維持しうるエキスパンド方法及びエキスパンド装置を提供する。【解決手段】エキスパンド方法は、保持手段31で環状フレーム4を保持する環状フレーム保持ステップと、環状フレーム4が保持された状態でエキスパンドシート2をエキスパンドするエキスパンドステップと、エキスパンドシート2をエキスパンドした状態で、保持テーブル34でエキスパンドシート2を介してウエーハWを吸引保持する吸引保持ステップと、吸引保持ステップを実施した後、突き上げ部36による押圧を解除する押圧解除ステップとを備え、保持テーブル34の外周側には、エキスパンドシート2の収縮を防止する微小突起部35が形成されているため、押圧解除ステップを実施するときに、エキスパンドシート2が収縮して吸引保持面34aから吸引力がリークするおそれがなく、隣り合うチップCの間隔5を確実に維持することができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

環状フレームの開口内に配置された被加工物の裏面に貼着されるとともに外周縁が該環状フレームに貼着されたエキスパンドシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、該環状フレームを保持する保持面を有した保持手段で該環状フレームを保持する環状フレーム保持ステップと、該環状フレームが保持された状態で被加工物の外周と該環状フレームの内周との間の該エキスパンドシートを該保持面と直交する方向に押圧手段で押圧して該エキスパンドシートをエキスパンドするエキスパンドステップと、該エキスパンドステップで該エキスパンドシートをエキスパンドした状態で、保持テーブルで該エキスパンドシートを介して被加工物を吸引保持する吸引保持ステップと、該吸引保持ステップを実施した後、該押圧手段による押圧を解除する押圧解除ステップと、を備え、該保持テーブルの外周側には、該エキスパンドシートの収縮を防止する微小突起部が形成されているエキスパンド方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , H01L 21/683

FI (2件)：

H01L21/78 W , H01L21/68 N

Fターム (57件)：

5F063AA05 , 5F063AA21 , 5F063AA31 , 5F063CA04 , 5F063CA06 , 5F063CB07 , 5F063CB29 , 5F063CC26 , 5F063CC32 , 5F063DD68 , 5F063DD69 , 5F063DD72 , 5F063DD73 , 5F063DD93 , 5F063DG21 , 5F063EE11 , 5F063EE43 , 5F063EE44 , 5F063FF01 , 5F063FF04 , 5F131AA02 , 5F131BA37 , 5F131BA52 , 5F131BA53 , 5F131CA07 , 5F131CA09 , 5F131CA53 , 5F131DA13 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB22 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131EA06 , 5F131EA07 , 5F131EA14 , 5F131EA22 , 5F131EA23 , 5F131EB01 , 5F131EB03 , 5F131EB31 , 5F131EB33 , 5F131EB54 , 5F131EB81 , 5F131EB82 , 5F131EC35 , 5F131EC53 , 5F131EC72 , 5F131EC73 , 5F131EC74 , 5F131EC75 , 5F131FA13 , 5F131FA32 , 5F131GA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

低拡張率エキスパンダおよび拡張フィルムシート固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-036476 出願人：ヒューグルエレクトロニクス株式会社
チップ間隔維持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-135532 出願人：株式会社ディスコ
エキスパンド装置及びエキスパンド方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-276905 出願人：リンテック株式会社

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