特許
J-GLOBAL ID：201903015386103747
X線分析装置およびスペクトル生成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-156519
公開番号（公開出願番号）：特開2019-035642
出願日： 2017年08月14日
公開日（公表日）： 2019年03月07日
要約：
【課題】コンタミネーションによる検出器の感度の低下の影響を低減できるX線分析装置を提供する。【解決手段】X線分析装置(X線検出システム100)は、試料Sから発生するX線を検出する検出器(固体撮像素子42)と、検出器を冷却する冷却素子44と、検出器の検出信号に基づいて、スペクトルを生成するスペクトル生成部82と、を含み、スペクトル生成部82は、基準時からX線が検出されるまでの経過時間に基づいて、検出器のコンタミネーションに起因するスペクトルの強度の減衰を補正する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料から発生するX線を検出する検出器と、
前記検出器を冷却する冷却素子と、
前記検出器の検出信号に基づいて、スペクトルを生成するスペクトル生成部と、
を含み、
前記スペクトル生成部は、基準時から前記X線が検出されるまでの経過時間に基づいて、前記検出器のコンタミネーションに起因するスペクトルの強度の減衰を補正する、X線分析装置。
IPC (2件)：
G01N 23/225
, G01N 23/200
G01N23/225 312
, G01N23/20 390
2G001AA03
, 2G001BA08
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001FA08
, 2G001KA01
