特許
J-GLOBAL ID：200903008018164899
試料分析装置における定量分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-053988
公開番号（公開出願番号）：特開2007-178445
出願日： 2007年03月05日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】 鉄鋼中のカーボン分析において、定性分析で得られるスペクトルに基づく簡易的な定量分析の精度を向上させることの可能な定量分析方法を提供する。【解決手段】 試料10に電子線を照射し、該試料10の表面より放出される特性X線を検出して試料10の定量分析を行う定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出X線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射する電子線源と、電子線の照射された試料から放出される特性X線を検出するX線分光器と、各部の動作を制御する制御部とを有し、試料に電子線を照射し、該試料表面より放出される特性X線を検出して試料の定量分析を行う試料分析装置における定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出X線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備えていることを特徴とする試料分析装置における定量分析方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (23件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001GA01
, 2G001HA01
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA05
, 2G001JA06
, 2G001KA01
, 2G001LA02
, 2G001LA03
, 2G001LA06
, 2G001MA05
, 2G001MA10
, 2G001NA15
, 2G001NA16
, 2G001NA17
, 2G001NA18
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 2G001QA01
出願人引用 (1件)
審査官引用 (16件)
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