X線管陽極および単色化光学部品を使用して複数の励起エネルギー帯が生成されるX線分析器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人谷・阿部特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-559957
特許番号：特許第6468844号
出願日： 2013年02月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料スポットを分析するためのX線分析装置であって、その上に電子が衝突して発散X線ビームを形成するターゲットを含むX線管であって、前記ターゲットは、第1のターゲット材料および第2のターゲット材料から形成される表面を有し、各ターゲット材料は、前記電子による衝突があるとそれぞれのエネルギープロファイルを放出するように調整された、X線管と、前記発散X線ビームを受け取り、前記試料スポットに前記発散X線ビームを向けるための第1のX線光学部品であって、前記第1のターゲット材料によって放出された前記エネルギープロファイルから第1のエネルギーへ前記発散X線ビームを単色化する第1のX線光学部品と、前記発散X線ビームを受け取り、前記試料スポットに前記発散X線ビームを向けるための第2のX線光学部品であって、前記第2のターゲット材料によって放出された前記エネルギープロファイルから第2のエネルギーへ前記発散X線ビームを単色化する第2のX線光学部品と、前記第1のエネルギーおよび前記第2のエネルギーによって誘起された前記試料スポットからの蛍光であって、前記試料スポット中の少なくとも1つの元素の濃度を示す蛍光を受け取る検出器と、を備え、前記第1のターゲット材料および前記第2のターゲット材料の各ターゲット材料は、前記ターゲット上に積層された別個の層として形成される、ことを特徴とするX線分析装置。

IPC (2件)：

H01J 35/08 ( 200 6.01) , H05G 1/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 35/08 B , H01J 35/08 C , H05G 1/00 G

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭59-221948
特開昭60-064236
X線管及びX線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-139878 出願人：株式会社島津製作所

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