特許
J-GLOBAL ID:201903018282297913
マッハツェンダ変調器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, ▲高▼木 邦夫
, 寺澤 正太郎
, 近藤 伊知良
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-182466
公開番号(公開出願番号):特開2019-056881
出願日: 2017年09月22日
公開日(公表日): 2019年04月11日
要約:
【課題】屈曲したアーム導波路を含む差動信号によって駆動するために差動信号路において信号スキューを低減できるマッハツェンダ変調器を提供する。【解決手段】マッハツェンダ変調器は、第1アーム導波路と、第2アーム導波路と、差動信号路とを備える。第1アーム導波路及び第2アーム導波路の各々は、第1軸の方向に延在する第1導波路部、第2軸の方向に延在する第2導波路部、及び第1導波路部を第2導波路部に光学的に結合するように屈曲する第3導波路部を含む。差動信号路は、駆動信号のするための第1信号線及び第2信号線、並びに基準電位線を含む。第1信号線の第1交差導体部及び第2信号線の第2交差導体部の一方は上側導体層を含み、他方は下側導体層を含み、上側導体層は、前記下側導体層から離れて下側導体層を延在して、第1信号線及び前記第2信号線は交差する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
マッハツェンダ変調器であって、
第1軸の方向に延在する第1導波路部、第2軸の方向に延在する第2導波路部、及び前記第1導波路部を前記第2導波路部に光学的に結合するように屈曲する第3導波路部を含む第1アーム導波路と、
前記第1軸の方向に延在する第1導波路部、前記第2軸の方向に延在する第2導波路部、及び前記第1導波路部を前記第2導波路部に光学的に結合するように屈曲する第3導波路部を含む第2アーム導波路と、
前記第1アーム導波路及び前記第2アーム導波路をそれぞれ駆動するための第1信号線及び第2信号線、並びに基準電位線を含む差動信号路と、
を備え、
前記基準電位線は、前記第1軸の方向に延在する第1導体部、及び前記基準電位線の前記第1導体部に接続する交差導体部を含み、
前記第1信号線は、前記第1軸の方向に延在すると共に前記第1アーム導波路の前記第1導波路部に接続される第1導体部、及び前記第1信号線の前記第1導体部に接続する第1交差導体部を含み、
前記第2信号線は、前記第1軸の方向に延在すると共に前記第2アーム導波路の前記第1導波路部に接続される第1導体部、及び前記第2信号線の前記第1導体部に接続する第2交差導体部を含み、
前記第1信号線の前記第1交差導体部及び前記第2信号線の前記第2交差導体部の一方は、上側導体層を含み、
前記第1信号線の前記第1交差導体部及び前記第2信号線の前記第2交差導体部の他方は、下側導体層を含み、
前記上側導体層は、前記下側導体層から離れて前記下側導体層上を延在して、前記第1信号線及び前記第2信号線は交差する、マッハツェンダ変調器。
IPC (2件):
FI (2件):
G02F1/025
, G02F1/017 506
Fターム (16件):
2K102AA20
, 2K102BA01
, 2K102BA02
, 2K102BB01
, 2K102BB04
, 2K102BC04
, 2K102CA00
, 2K102CA04
, 2K102DA08
, 2K102DA11
, 2K102DB04
, 2K102DB08
, 2K102DD03
, 2K102EA03
, 2K102EA12
, 2K102EA16
引用特許: