光変調モジュール、半導体光変調素子

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 近藤伊知良
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-037314
公開番号（公開出願番号）：特開2014-164243
出願日： 2013年02月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】駆動電力を低減可能なマッハツェンダ変調器を含む半導体光変調素子を備える光変調モジュールを提供できる。【解決手段】第1光変調器20Aはマッハツェンダ変調器を含み、このマッハツェンダ変調器の第1アーム導波路及び第2アーム導波路、電気入力、並びに差動伝送路を含む電気回路の差動インピーダンスは80Ωから95Ωの範囲にある。第2光変調器20B、第3光変調器20C及び第4光変調器20Dの各々に係る電気回路の差動インピーダンスも、また80Ωから95Ωの範囲にある。この半導体光変調素子13によれば、これまでの光変調器に比べて第1及び第2アーム導波路のインピーダンスを高くして、差動インピーダンスが80Ωから95Ωの範囲にある半導体光変調素子を提供する。これ故に、半導体光変調素子の電気入力に電気信号を提供する駆動回路の消費電力を低減できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体光変調素子であって、半絶縁性のInP基板上において第1軸の方向に配列された複数のマッハツェンダ変調器を含む半導体変調器と、前記半導体光変調素子の光入力と前記半導体変調器との間に結合されており前記InP基板上に設けられた光分岐器と、外部から差動駆動信号を受ける第1電極及び第2電極、並びに共通電極を含み、前記InP基板上に設けられた電気入力と、前記半導体変調器のうちの第1マッハツェンダ変調器の第1アーム導波路及び第2アーム導波路に前記電気入力の前記第1電極、前記第2電極及び前記共通電極を接続する導電線を含む差動伝送路と、を備え、前記第1マッハツェンダ変調器の前記第1アーム導波路及び前記第2アーム導波路、前記電気入力、並びに前記差動伝送路を含む電気回路の差動インピーダンスは80Ωから95Ωの範囲にある、半導体光変調素子。

IPC (2件)：

G02F 1/017 , G02B 6/12

FI (3件)：

G02F1/017 502 , G02F1/017 503 , G02B6/12 H

Fターム (29件)：

2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079BA03 , 2H079CA04 , 2H079DA16 , 2H079DA22 , 2H079EA05 , 2H079EA07 , 2H079EB04 , 2H079EB12 , 2H079HA11 , 2H079KA01 , 2H079KA06 , 2H079KA11 , 2H079KA14 , 2H079KA17 , 2H147AB02 , 2H147AC04 , 2H147BD01 , 2H147BE01 , 2H147BE22 , 2H147CD02 , 2H147EA12A , 2H147EA12B , 2H147EA12C , 2H147FA06 , 2H147FA20 , 2H147FC02

引用特許：

審査官引用 (7件)

マッハツェンダ型光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-170325 出願人：富士通株式会社
半導体電界吸収型光変調装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-005634 出願人：株式会社エイ・ティ・アール光電波通信研究所
光送信装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-231260 出願人：株式会社東芝

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