特許
J-GLOBAL ID：201903018307112530

インプリントモールド及びインプリント方法

発明者：
大川 泰央

大川 泰央 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 太田 昌孝 ,  金森 靖宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-039281
公開番号（公開出願番号）：特開2019-153727
出願日： 2018年03月06日
公開日（公表日）： 2019年09月12日
要約：
【課題】剛性が十分であって、かつパターン形状が優れ、経時的に安定した離型性を発揮し得る樹脂製の微細パターンを有するインプリントモールド及び当該インプリントモールドを用いたインプリント方法を提供する。【解決手段】インプリントモールドは、第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する基材と、基材の第1面上に設けられてなる、複数の凸部を有する微細パターンとを備え、微細パターンは、樹脂材料と無機材料との反応生成物により構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する基材と、 前記基材の前記第1面上に設けられてなる、複数の凸部を有する微細パターンと を備え、 前記微細パターンは、樹脂材料と無機材料との反応生成物により構成される インプリントモールド。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 33/38 ,  B29C 59/02
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C33/38 ,  B29C59/02 B
Fターム (34件)：
4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD23 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ09 ,  4F209AR06 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ14 ,  5F146AA18 ,  5F146AA32 ,  5F146AA33 ,  5F146AA34 ,  5F146DA26 ,  5F146DA27 ,  5F146EA02 ,  5F146EA03 ,  5F146EA14 ,  5F146EB02 ,  5F146HA01 ,  5F146JA22
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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