特許
J-GLOBAL ID：201503003042219811

インプリント用樹脂製モールドおよびその製造方法

発明者：
三澤 毅秀

三澤 毅秀 について

, 
上原 諭

上原 諭 について


出願人/特許権者：
綜研化学株式会社

綜研化学株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-104403
公開番号（公開出願番号）：特開2015-201652
出願日： 2015年05月22日
公開日（公表日）： 2015年11月12日
要約：
【課題】転写欠陥がなく、インプリントする樹脂との剥離性に優れ、またインプリントにより欠陥の生じないインプリント用樹脂製モールドを提供する。【解決手段】表面に凹凸パターンを有する樹脂層3と、前記樹脂層の少なくとも凹凸パターンを有する面上に均一な厚さで形成された無機物層2と、前記無機物層の少なくとも凹凸パターンを有する面上に均一な厚さで形成された剥離剤層1とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に凹凸パターンを有する樹脂層と、前記樹脂層の少なくとも凹凸パターンを有する面上に、ターゲットと被着体との位置関係を、被着体を相対的に自転させつつ公転させることにより変化させながら均一な厚さで形成された無機物層と、前記無機物層の少なくとも凹凸パターンを有する面上に均一な厚さで形成された剥離剤層とを有し、 前記樹脂層の厚さが、前記樹脂層に凹凸パターンを付与するマスターモールドの表面に形成されている凹凸の高さに対して1〜15倍であり、前記無機物層の厚さが、0.5〜100nmであり、前記剥離剤層の厚さが、0.5〜20nmであることを特徴とするインプリント用樹脂製モールド。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 33/38 ,  B29C 59/02
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C33/38 ,  B29C59/02 B
Fターム (36件)：
4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH33 ,  4F202AH73 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202AR12 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CC07 ,  4F202CD05 ,  4F202CD23 ,  4F202CK12 ,  4F202CM46 ,  4F202CM47 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ09 ,  4F209AR12 ,  4F209PA02 ,  4F209PA04 ,  4F209PB01 ,  4F209PB02 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PQ01 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA32 ,  5F146AA34
引用特許：
審査官引用 (11件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM