特許
J-GLOBAL ID：201303071175459670

インクジェットヘッドの吐出量補正方法、吐出量補正装置、及び機能性インク配置装置並びにナノインプリントシステム

発明者：
児玉 憲一

児玉 憲一 について

, 
大松 禎

大松 禎 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-202207
公開番号（公開出願番号）：特開2013-065624
出願日： 2011年09月15日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】機能性インクのロットにより粘度が異なる場合や、インクジェットヘッドを交換した場合であっても、基板間で膜厚を均一にする。【解決手段】インクジェットヘッドのノズルから機能性インクをインク滴として吐出させ、前記インク滴を基板表面に離散的に配置する配置工程と、前記基板表面に配置されたインク滴にモールドを接触させることで、前記モールドと前記基板との間に前記機能性インクを充填させる接触工程と、前記充填された機能性インクを硬化させる硬化工程と、前記硬化した機能性インクから前記モールドを剥離する離型工程と、前記硬化した機能性インクの厚みを計測する計測工程と、前記計測した厚みに基づいて、前記ノズルからの吐出量を補正する補正工程と、を備えた機能性インク配置装置の吐出量補正方法によって上記課題を解決する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
インクジェットヘッドのノズルから機能性インクをインク滴として吐出させ、前記インク滴を基板表面に離散的に配置する配置工程と、 前記基板表面に配置されたインク滴にモールドを接触させることで、前記モールドと前記基板との間に前記機能性インクを充填させる接触工程と、 前記充填された機能性インクを硬化させ、機能性膜を生成する硬化工程と、 前記機能性膜から前記モールドを剥離する離型工程と、 前記機能性膜の厚みを計測する計測工程と、 前記計測した厚みに基づいて、前記ノズルからの吐出量を補正する補正工程と、 を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの吐出量補正方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B05D 1/26
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  B05D1/26 Z
Fターム (41件)：
4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC92 ,  4D075AC94 ,  4D075BB41Z ,  4D075BB42Z ,  4D075BB46Z ,  4D075CA48 ,  4D075DA03 ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DB11 ,  4D075DB31 ,  4D075DB61 ,  4D075DC21 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4D075EA07 ,  4D075EA19 ,  4D075EA21 ,  4D075EA33 ,  4D075EA45 ,  4D075EB11 ,  4D075EB31 ,  4F209AA36 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AP11 ,  4F209AQ01 ,  4F209AQ04 ,  4F209AR12 ,  4F209AR14 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PJ06 ,  4F209PJ26 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  5F146AA31
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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