特許
J-GLOBAL ID：201903019375869930
イオントラップ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-163482
公開番号（公開出願番号）：特開2019-067752
出願日： 2018年08月31日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
要約：
【課題】イオンを効率的に捕捉すると共に、急速に冷却することができるリニアイオントトラップを提供する。【解決手段】軸350に沿って連続的に位置づけられた複数のセグメント326を有する分割電極構造体303、324を有し、分割電極構造体303、324の各セグメント326は、第1の電圧供給部は半径方向閉じ込めモードで動作するように構成され、各セグメント326に属する少なくともいくつかの電極が、セグメント内部にイオンを半径方向に閉じ込めるためのAC電圧波形を供給される。第2の電圧供給部は、捕捉モードで動作するように構成され、標的セグメントに向けてイオンを押しやりその中に捕捉するために軸方向に変化するプロファイルを有する捕捉電場を提供するように、異なるDC電圧を供給される。【選択図】図3(a)
請求項（抜粋）：
イオントラップであって、
軸に沿って連続的に位置づけられた複数のセグメントを有する分割電極構造体であって、前記分割電極構造体の各セグメントは、前記軸の周りに配置された複数の電極を含む、分割電極構造体と、
各セグメントに属する少なくともいくつかの電極が、前記セグメント内部にイオンを半径方向に閉じ込めるための閉じ込め電場を提供するように少なくとも1つのAC電圧波形を供給される半径方向閉じ込めモードで動作するように構成された第1の電圧供給部と、
前記セグメントに属する前記電極のうちの少なくともいくつかが、前記複数のセグメントのうちの標的セグメントに向けてイオンを押しやりその中にイオンを捕捉するために軸方向に変化するプロファイルを有する捕捉電場を提供するように異なるDC電圧を供給される捕捉モードで動作するように構成された第2の電圧供給部と、
イオン源からイオンを受け取るように構成された第1のチャンバであって、前記セグメントの第1のサブセットが前記第1のチャンバ内部に位置する、第1のチャンバと、
前記第1のチャンバからイオンを受け取るように構成された第2のチャンバであって、前記セグメントの第2のサブセットが前記第2のチャンバ内部に位置し、前記標的セグメントは、前記セグメントの第2のサブセットのうちの1つである、第2のチャンバと、
前記第2のチャンバに前記第1のチャンバより低いガス圧力を提供するように前記第2のチャンバからガスを排気するように構成されたガスポンプと、
前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとの間に位置するガス流制限セクションであって、前記第1のチャンバから前記第2のチャンバにイオンを通すことを可能にすると共に前記第1のチャンバから前記第2のチャンバへのガス流を制限するように構成されている、ガス流制限セクションと、
を有する、イオントラップ。
IPC (3件)：
H01J 49/42
, H01J 49/06
, H01J 49/40
H01J49/42
, H01J49/06
, H01J49/40
5C038FF13
, 5C038JJ02
, 5C038JJ06
, 5C038JJ13
