有機4族化合物を含む前駆体造成物及びそれを利用した薄膜形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人小倉特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-545788
公開番号（公開出願番号）：特表2019-504509
出願日： 2016年11月01日
公開日（公表日）： 2019年02月14日
要約：

本発明の一実施例による前駆体造成物は,有機アルミニウム化合物,有機ガリウム化合物,又は有機ゲルマニウム化合物の中から選択されたいずれか一つの化合物と有機4族化合物の混合物を含む。

請求項（抜粋）：

有機アルミニウム化合物,有機ガリウム化合物,又は有機ゲルマニウム化合物の中から選択されたいずれか一つの化合物と有機4族化合物の混合物を含む前駆体造成物。

IPC (7件)：

H01L 21/316 , C23C 16/18 , C23C 16/40 , C23C 16/34 , C23C 16/455 , H01L 21/318 , H01L 21/31

FI (7件)：

H01L21/316 X , C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/455 , H01L21/318 B , H01L21/31 B

Fターム (48件)：

4H048AA01 , 4H048AB80 , 4H048VA30 , 4H049VN02 , 4H049VN06 , 4H049VN07 , 4H049VP01 , 4H049VQ39 , 4H049VR21 , 4H049VR53 , 4H049VR54 , 4H049VU24 , 4K030BA02 , 4K030BA08 , 4K030BA09 , 4K030BA22 , 4K030BA38 , 4K030BA42 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030EA03 , 4K030FA01 , 4K030FA10 , 4K030HA01 , 4K030JA10 , 4K030LA15 , 5F045AA06 , 5F045AA15 , 5F045AB31 , 5F045AC07 , 5F045AC11 , 5F045AC12 , 5F045AC15 , 5F045AC16 , 5F045AC17 , 5F045AD04 , 5F045AD05 , 5F045AD06 , 5F045AD07 , 5F045AD08 , 5F045AD09 , 5F045EE19 , 5F058BC03 , 5F058BC09 , 5F058BF04 , 5F058BF27 , 5F058BF29 , 5F058BF30

引用特許：

審査官引用 (5件)

誘電体フィルムを形成する方法、新規前駆体および半導体製造におけるそれらの使用
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-512514 出願人：レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
新規な4B族有機金属化合物及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2013-558779 出願人：メカロニックスシーオー.エルティディ.
IIIb-Vb族化合物の合成法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-094147 出願人：住友化学工業株式会社

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