特許
J-GLOBAL ID：201903020080397643

加工装置

発明者：
宮田 諭

宮田 諭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (4件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子 ,  鹿角 剛二 ,  金子 吉文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-027608
公開番号（公開出願番号）：特開2019-145636
出願日： 2018年02月20日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：
【課題】ストリートのズレの補正と、切削溝、分割溝を含む加工溝のズレの補正とを間違えることのない加工装置を提供する。【解決手段】表示手段20には、画像表示部38と、ストリート4と基準線Lとのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタン40と、加工溝54と基準線Lとのズレ量を補正値として記憶する加工溝補正ボタン42と、Y軸送り手段を作動するY軸作動部46と、基準線Lを挟み基準線に接近および離反する一対の可動線48と、可動線作動部50とが表示される。可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定された場合と、加工溝の幅と認識される間隔に設定された場合とで可動線の色が変化し、ストリート補正ボタンの色が、ストリートの幅と認識される間隔に設定された場合の可動線の色と同色に設定され、加工溝補正ボタンの色は、加工溝の幅と認識される間隔に設定された場合の可動線の色と同色に設定される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、 ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に相対的に加工送りするX軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りするY軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、 該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Y軸送り手段を作動するY軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、 該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定された場合と、加工溝の幅と認識される間隔に設定された場合とで該一対の可動線の色が変化し、 該ストリート補正ボタンの色は、ストリートの幅と認識される間隔に設定された場合の該一対の可動線の色と同色に設定され、 該加工溝補正ボタンの色は、加工溝の幅と認識される間隔に設定された場合の該一対の可動線の色と同色に設定される加工装置。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (2件)：
H01L21/78 C ,  H01L21/78 F
Fターム (5件)：
5F063AA02 ,  5F063AA29 ,  5F063BA28 ,  5F063DE07 ,  5F063DE33
引用特許：
出願人引用 (3件)

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