特許
J-GLOBAL ID:201903018090795960
加工装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
, 鹿角 剛二
, 金子 吉文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-027609
公開番号(公開出願番号):特開2019-145637
出願日: 2018年02月20日
公開日(公表日): 2019年08月29日
要約:
【課題】ストリートのズレの補正と、切削溝、分割溝を含む加工溝のズレの補正とを間違えることのない加工装置を提供する。【解決手段】表示手段20には、撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部38と、ストリート4と基準線Lとのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタン40と、加工溝54と基準線Lとのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタン42と、Y軸送り手段を作動するY軸作動部46と、基準線Lを挟み線対称を保ち基準線Lに接近および離反する一対の可動線48と、一対の可動線を作動する可動線作動部50とが表示される。一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に、ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に、加工溝補正ボタンをタッチするとエラーを報知する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、
ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に相対的に加工送りするX軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りするY軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、
該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Y軸送り手段を作動するY軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、
該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に該ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、
該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される加工装置。
IPC (1件):
FI (2件):
H01L21/78 C
, H01L21/78 F
Fターム (4件):
5F063AA28
, 5F063BA28
, 5F063DE07
, 5F063DE33
引用特許:
出願人引用 (7件)
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切削溝の検出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2013-177988
出願人:株式会社ディスコ
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ダイシング装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-337878
出願人:株式会社東京精密
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ダイシングマシンの溝切制御方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-065341
出願人:株式会社東京精密
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加工位置調製方法及び加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-004487
出願人:株式会社ディスコ
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加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-130212
出願人:株式会社ディスコ
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装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2016-024888
出願人:株式会社ディスコ
-
切削装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-215950
出願人:株式会社ディスコ
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