特許
J-GLOBAL ID：201903020326567357
汚れの影響を受けにくいひずみ分布測定方法とそのプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-193334
公開番号（公開出願番号）：特開2019-066369
出願日： 2017年10月03日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
要約：
【課題】試料格子上に無視できないほどの汚れや境界や欠陥(以下、欠陥と称する)がある場合、フーリエ変換(FT)法又はモアレ法を用いて画像の位相を接続すると結果として、欠陥領域だけでなく欠陥位置から1つの画像エッジまでの領域において、正しくない位相値と正しくないひずみ値をもたらす。格子ピッチの変化からのひずみ測定は、欠陥領域以外の領域でひずみの値にエラーは生じないものの、せん断ひずみの測定精度が低い。【解決手段】面内ひずみ分布測定のために、局所位相アンラッピングアルゴリズムとフーリエ変換(FT)法やモアレ法などの位相抽出技術を組み合わせた位相解析手法に基づくひずみ測定方法及びそのプログラムを提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
試料の全視野における面内ひずみ分布を測定する方法であって、
試料に存在する、または、試料に貼付された1次元規則格子または2次元規則格子(以下、規則格子とする)の変形前後のデジタル格子画像を取得し、
前記変形前後のデジタル格子画像からフーリエ変換(FT)を用いて所定の方向の前記規則格子の位相を[-π、π]の範囲に折りたたんで算出し、
前記所定の方向ごとに算出した前記変形前後の規則格子の位相から前記規則格子の位相差を算出し、
前記[-π、π]の範囲において所定の臨界値で定められた位相境界周辺の前記所定の方向の前記規則格子の位相差の偏微分を前記位相差の偏微分に応じて補正し、
前記補正した規則格子の位相差の偏微分に基づいて前記位相境界周辺のひずみ値を前記所定の方向ごとに算出して前記試料の全視野における面内ひずみ分布を測定することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (24件)：
2F065AA65
, 2F065BB28
, 2F065CC14
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ01
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, 2F065QQ16
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, 2F065QQ33
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, 2G061BA20
, 2G061CA03
, 2G061CB01
, 2G061CB08
, 2G061DA19
, 2G061EA04
, 2G061EB07
, 2G061EC05
