特許

J-GLOBAL ID：201903020430974282

スパッタ装置用カソードユニット

発明者： 米澤 健 ,  ▲高▼橋 希世美 ,  太田 裕己 ,  呉 準席 ,  伊藤 昌文 ,  古閑 一憲 ,  白谷 正治 ,  中谷 達行
出願人/特許権者： ケニックス株式会社 ,  学校法人 名城大学 ,  国立大学法人九州大学 ,  学校法人加計学園
代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-027964
公開番号（公開出願番号）：特開2019-143193
出願日： 2018年02月20日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：

【課題】ターゲットと基板との圧力差を大きくすることが可能なスパッタ装置用カソードユニットを実現できるようにする。【解決手段】スパッタ装置用カソードユニット100は、ターゲット111が保持されるバッキングプレート112が設けられたカソード本体110と、カソード本体110を収容し、バッキングプレート112を露出するカバー開口部121を端面に有し、カソード本体110と絶縁されたカバー120と、カバー120の端面を覆い、カバー開口部121と重なる位置にオリフィス開口部131を有するオリフィス130と、カバー開口部131から露出した空間にガスを供給するガス供給路140とを備える。また、0.4≦V/S≦10の条件を満たす。但し、Sはターゲットの有効表面積であり、Vはカバー開口部から露出した空間の体積とカバーとオリフィスとの間の空間の体積との和である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ターゲットが保持されるバッキングプレートが設けられたカソード本体と、 前記カソード本体を収容し、バッキングプレートを露出するカバー開口部を端面に有し、前記カソード本体と絶縁されたカバーと、 前記カバーの端面を覆い、前記カバー開口部と重なる位置にオリフィス開口部を有するオリフィスと、 前記カバー開口部から露出した空間にガスを供給するガス供給路とを備え、 下記の式1の条件を満たす、スパッタ装置用カソードユニット。 0.4≦V/S≦10 ・・・ (式1) 但し、Sはターゲットの有効表面積であり、Vは前記カバー開口部から露出した空間の体積と、前記カバーと前記オリフィスとの間の空間の体積との和である。

IPC (1件)：

C23C 14/34

FI (2件)：

C23C14/34 C ,  C23C14/34 M

Fターム (9件)：

4K029CA05 ,  4K029DA06 ,  4K029DA10 ,  4K029DC03 ,  4K029DC20 ,  4K029DC21 ,  4K029EA02 ,  4K029EA03 ,  4K029EA04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-244978   出願人：キヤノン株式会社
• スパッタ源終端検出機構およびスパッタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-116907   出願人：日本放送協会
• スパッタリング式成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-029771   出願人：三菱電機株式会社