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J-GLOBAL ID：202002213989164871   整理番号：20A2610678

マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果

Hydrogen effects on the properties of BCN films deposited by magnetron sputtering

著者 (6件)： 谷口颯 (弘前大 大学院理工学研究科) ,  郡山春人 (弘前大 大学院理工学研究科) ,  小林康之 (弘前大 大学院理工学研究科) ,  遠田義晴 (弘前大 大学院理工学研究科) ,  吹留博一 (東北大 電通研) ,  中澤日出樹 (弘前大 大学院理工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告(Web)  (IEICE Technical Report (Web))
巻： 120  号： 217(CPM2020 11-21)  ページ： 23-26 (WEB ONLY)  発行年： 2020年10月22日 
JST資料番号： U2030A  ISSN： 2432-6380  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RFマグネトロンスパッタ法によりアモルファスBCN薄膜およびH₂を導入して水素化アモルファスBCN(BCN:H)薄膜を作製し,水素がBCN膜特性に及ぼす影響を調べた。膜の光学バンドギャップ(E_g)および比抵抗はBCN膜に比べてBCN:H膜の方が大きくなることがわかった。また,水素流量比の増加に伴い,BCNBCN:H膜のE_gおよび比抵抗は増加した。この原因として,水素導入により膜中のsp²C=C結合成分が減少したことが考えられる。また,同様の光学バンドギャップに対してBCN:H膜の方が高い比抵抗を示すことがわかった。このことから,水素導入により膜中の欠陥密度が減少したことが示唆される。(著者抄録)

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  水素化 ,  非晶質 ,  *薄膜成長 ,  電気抵抗率 ,  光学ギャップ ,  欠陥密度 ,  *薄膜 ,  ホウ素化合物 ,  炭化物 ,  窒化物 ,  炭窒化ホウ素

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (8件)：

• Vladimir L. Solozhenko, Denis Andrault, Guillaume Fiquet, Mohamed Mezouar, David C. Rubie, “Synthesis of superhard cubic BC2N”, Applied Physics Letters, vol.78, pp.1385-1387, Feb. 2001.
• Shuyan Xu, Xinxin Ma, Huiying Wen, Guangze Tang, Chunwei Li, ”Effect of annealing on the mechanical and scratch properties of BCN films obtained by magnetron sputtering deposition”, Applied Surface Science, vol.313, pp.823-827, Sept. 2014.
• Amy Y. Liu, Renata M. Wentzcovitch, Marvin L. Cohen, ”Atomic arrangement and electronic structure of BC₂N”, Physical Review B, vol.39, pp. 1760-1765, Jan. 1989.
• Vinit O. Todi, Bojanna P. Shantheyanda, Kalpathy B. Sundaram, “Influence of annealing on the optical properties of reactively sputtered BCN thin films”, Materials Chemistry and Physics, vol.141, pp.596-601, April 2013.
• Veronica S. Sulyaeva, Yurii M. Rumyantsev, Valerii G. Kesler, Marina L. Kosinova, “Synthesis and optical properties of BCxNy films deposited from N-triethylborazine and hydrogen mixture”, Thin Solid Films, vol.581, pp.59-64, April 2015.

タイトルに関連する用語 (4件)： マグネトロンスパッタ法 ,  作製 ,  膜特性 ,  水素