ガンマ線照射下におけるFEAの特性測定装置とそれを用いた電子放出特性の評価

後藤康仁; 森藤瑛之; 半田裕典; 長尾昌善; 佐藤信浩; 秋吉優史; 高木郁二; 岡本保

文献

J-GLOBAL ID：202002216469890362 整理番号：20A0117359

ガンマ線照射下におけるFEAの特性測定装置とそれを用いた電子放出特性の評価

System for Emission Property Measurements of FEAs under Gamma-ray Irradiation and Evaluation of Field Emission Properties

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資料名：
巻： 119 号： 305(ED2019 59-75) ページ： 59-62 発行年： 2019年11月14日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

福島第一原子力発電所の廃炉作業のために必要な高い耐放射線性を持つ撮像素子において,ガンマ線照射下においてフィールドエミッタアレイ(FEA)が問題なく動作するかは重要な課題である.ガンマ線を照射しながら電子放出特性を測定するためには,小型の真空ポンプを搭載した真空容器が必要となる.本稿では,このために作製した小型可搬真空容器の概要と,それを用いて測定したFEAの電子放出特性について報告する.(著者抄録)

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電子源,イオン源

引用文献 (7件)：

M. Nanba, Y. Takiguchi, Y. Honda, Y. Hirano, T. Watabe, N. Egami, K. Miya, K. Nakamura, M. Taniguchi, S. Itoh, and A. Kobayashi, ′′640 x 480 pixel active-matrix Spindt-type field emitter array image sensor with high-gain avalanche rushing amorphous photoconductor target′′, J. Vac. Sci. Technol. B, vol. 28, no. 1, pp. 96-103, Jan.2010.
M. Nagao, Y. Gotoh, Y. Neo, and H. Mimura, “Beam profile measurement of volcano-structured double-gated Spindt-type field emitter arrays”, J. Vac. Sci. Technol. B vol.34, no.2, pp.02G108/1-8, Mar./Apr. 2016.
Y. Gotoh, H. Tsuji, M. Nagao, T. Masuzawa, Y. Neo, H. Mimura, T. Okamoto, N. Sato, M. Akiyoshi, and I. Takagi, “Radiation tolerance of compact image sensor with field emitter array and cadmium telluride-based photoconductor”, Tech. Dig. Of the 29^th International Vacuum Nanoelectronics Conference, PE2C4, pp.20-21, Vancouver, Canada, Jul.2016.
森藤瑛之, 長尾昌善, 佐藤信浩, 秋吉優史, 高木郁二, 後藤康仁, ”高線量率のX線照射下におけるフィールドエミッタアレイの動作”, 電子情報通信学会電子デバイス研究会, ED2017-46, pp.43-46, Jul.2017.
後藤康仁, 辻博司, 長尾昌善, 秋吉優史, 高木郁二, ”エックス線照射下におけるフィールドエミッタアレイの動作特性評価装置”, J. Vac. Soc. Jpn. vol.60, no.8, pp.328-333, Aug., 2017.

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