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J-GLOBAL ID：202002223312712298   整理番号：20A0007748

表面格子化Siベース多層構造の光学特性【JST・京大機械翻訳】

Optical properties of surface grated Si-based multilayer structure

著者 (10件)： Bayramov Ayaz (Institute of Physics, Azerbaijan National Academy of Sciences. H. Javid 131, Az 1143 Baku, Azerbaijan) ,  Alizade Elvin (Institute of Physics, Azerbaijan National Academy of Sciences. H. Javid 131, Az 1143 Baku, Azerbaijan) ,  Mammadov Samir (InstitutfuerPhysik, TU Chemnitz, Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz, Germany) ,  Tavkhelidze Avtandil (Ilia State University, Cholokashviliave. 3-5, 0162 Tbilisi, Georgia) ,  Mamedov Nazim (Institute of Physics, Azerbaijan National Academy of Sciences. H. Javid 131, Az 1143 Baku, Azerbaijan) ,  Aliyeva Yegana (Institute of Physics, Azerbaijan National Academy of Sciences. H. Javid 131, Az 1143 Baku, Azerbaijan) ,  Ahmedova Khuraman (Institute of Physics, Azerbaijan National Academy of Sciences. H. Javid 131, Az 1143 Baku, Azerbaijan) ,  Asadullayeva Saida (Institute of Physics, Azerbaijan National Academy of Sciences. H. Javid 131, Az 1143 Baku, Azerbaijan) ,  Jangidze Larissa (Institute of Micro and Nanoelectronics, Chavchavadze Ave. 13, 0162 Tbilisi, Georgia) ,  Skhiladze Givi (Institute of Micro and Nanoelectronics, Chavchavadze Ave. 13, 0162 Tbilisi, Georgia)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 37  号： 6  ページ： 061807-061807-4  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トップSi:B層上にサブ波長格子を有するホウ素ドープSi/SiO_2/基板(Si:B)構造を,室温で分光偏光解析法と光ルミネセンス分光法によって研究した。高精度のサブ波長格子を作製するために,レーザリソグラフィーを施した上部Si:B層の反応性イオンエッチング後に,誘電関数の明確な修正を観測した。格子表面層の誘電関数の顕著な特徴は,バンド間状態密度における2.968eVのエネルギーにおける鋭い強いピークである。最後のエネルギーの下と下での格子多層構造の光ルミネセンススペクトルに現れる顕著なピーク構造をもつ発光バンドは純粋またはホウ素ドープSi上では存在しない。得られた結果を,考察した表面格子多層構造におけるGドーピング効果の観点から議論した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 誘電関数 ,  光ルミネセンス ,  RIE【エッチング】 ,  *多層構造 ,  集積層 ,  ドーピング ,  発光 ,  レーザリソグラフィー ,  状態密度 ,  *光学的性質 ,  表層 ,  *ケイ素 ,  ホウ素
準シソーラス用語： ドーピング効果 ,  光ルミネセンススペクトル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 格子 ,  Si ,  多層構造 ,  光学特性