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J-GLOBAL ID：202002246840388643   整理番号：20A2236908

高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定

Large-Scale Evaluation of MIM Devices Using High-Precision Current Measurement Array Test Circuit

著者 (9件)： 鈴木勇人 (東北大 大学院) ,  PARK Hyeonwoo (東北大 大学院) ,  寺本章伸 (広島大) ,  寺本章伸 (東北大 NICHe) ,  黒田理人 (東北大 大学院) ,  黒田理人 (東北大 NICHe) ,  諏訪智之 (東北大 NICHe) ,  須川成利 (東北大 大学院) ,  須川成利 (東北大 NICHe)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.12p-A305-7  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】半導体デバイスの研究開発では素子単体の性能向上だけではなく,実用化を見据えたばらつきの低減,歩留まりの向上が強く求められている.そのため,研究開発段階の種々の材料・デバイスを簡便かつ大量・高精度に計測することの出来る技術が求めら...【本文一部表示】

シソーラス用語： コンデンサ ,  電圧 ,  *電流 ,  半導体素子 ,  歩留り ,  電圧変動 ,  電流電圧特性 ,  漏れ電流 ,  絶縁膜 ,  プラズマCVD ,  生産工程 ,  *電流測定 ,  *テスト構造 ,  薄膜形成
準シソーラス用語： 電圧波形 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電流計測 ,  アレイ ,  テスト回路 ,  MIM素子 ,  大規模