文献

J-GLOBAL ID：202002248267593111   整理番号：20A0114484

化学溶液析出法による極薄GZO薄膜シード層上へのZnOナノロッドの成長と構造及び光学特性

Chemical Bath Deposition of ZnO Nanorods on Very Thin GZO Seed Layers and Their Structural and Optical Properties

著者 (7件)： 寺迫智昭 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  濱本昂大 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  山田健太 (愛媛大 工) ,  甲田真一朗 (愛媛大 工) ,  矢木正和 (香川高専) ,  古林寛 (高知工科大 総合研) ,  山本哲也 (高知工科大 総合研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 304(LQE2019 76-101)  ページ： 15-20  発行年： 2019年11月14日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イオンプレーティング法で堆積した膜厚10nmの極薄Ga添加ZnO(GZO)シード層上に化学溶液析出法(CBD法)を用いて垂直配向ZnOナノロッド(NRs)を成長した.成長時間3~300minにおいてNRsの平均幅おおよび平均長は,それぞれ60~200nmおよび250~980nmの範囲で変化していた.X線回折測定から全成長時間に亘ってNRsには圧縮性応力が作用していることが明らかになった.成長時間の増加に伴うバンド端(NBE)発光に対するオレンジ色(OB)発光の強度比(I_OB/I_NBE)の低下が観察された.10nm厚GZOシード層上に成長したNRsに働く圧縮応力とI_OB/I_NBEはともに200nm厚GZOシード層上に成長したNRsのものに比ベて大きかった.(著者抄録)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *ナノロッド ,  *溶液成長 ,  薄膜成長 ,  構造特性 ,  光学的性質 ,  イオンめっき ,  配向 ,  X線回折 ,  圧縮応力 ,  走査電子顕微鏡 ,  光ルミネセンス
準シソーラス用語： イオンプレーティング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (20件)：

• C. Jagadish, S. J. Pearton ed., Zinc Oxide Bulk, Thin Films and Nanostructures, Processing, Properties and Applications, Elsevier, Amsterdam, 2006
• C. G. Van de Walle, Hydrogen as a cause of doping in zinc oxide, Phys. Rev. Lett., vol. 85, issue 5, pp.1012-1015, July 2000.
• T. Minami, New n-type transparent conducting oxides, MRS Bulletin, vol. 25, issue 8, pp.38-44, August 2000.
• A, Nakamura, T. Ohasi, K. Yamamoto, J. Ishihara, T. Aoki, J. Temmyo, H. Gotoh, Full-color electroluminescence from ZnO-based heterojunction diodes, Appl. Phys. Lett., vol. 90, issue 9, art. no. 093512, 2007.
• M. Nakano, T. Makino, A. Tsukazaki, K. Ueno, A. Ohtomo, T. Fukumura, H. Yuji, S. Akasaka, K. Tamura, K. Nakahara, T. Tanabe, A. Kamisawa, M. Kawasaki, Transparent polymer Schottky contact for a high performance visible-blind ultraviolet photodiode based on ZnO, Appl. Phys. Lett. vol.93, issue 12, art. no. 123309, 2008.

タイトルに関連する用語 (7件)： 化学溶液析出 ,  GZO ,  薄膜 ,  シード層 ,  ZnOナノロッド ,  成長 ,  光学特性