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J-GLOBAL ID：202002249754236619   整理番号：20A1409494

電気学会技術報告 放電・プラズマ気相シミュレーション技法

Technical Report on Techniques for Gas-Phase Simulations of Electric Discharges and Plasmas

著者 (19件)： 菅原広剛 (北大) ,  小田昭紀 (千葉工大) ,  竹内希 (東京工大) ,  明石治朗 (防衛大) ,  池田圭 (アテナシス) ,  小方誠司 (モデリング工房) ,  小室淳史 (東大) ,  佐藤孝紀 (室蘭工大) ,  志村尚彦 (東芝) ,  鈴木進 (千葉工大) ,  田中正明 (ペガサスソフトウェア) ,  田中康規 (金沢大) ,  とう立柱 (計測エンジニアリングシステム) ,  宮下大 (住友重機械工業) ,  山田英明 (産業技術総合研) ,  菅野浩一 (エーイーティー) ,  小林司 (アテナシス) ,  佐藤誠 (STAR-CCM) ,  中嶋進 (アンシス・ジャパン)
資料名： 電気学会技術報告
号： 1488  ページ： 93P  発行年： 2020年06月17日 
JST資料番号： S0378A  ISSN： 0919-9195  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 放電・プラズマシミュレーションに取り入れられている物理的・化学的現象のモデリング法や具体的数値計算技術について,主に気相における電子,分子,イオン,化学活性種などの微視的振る舞いとプラズマの巨視的な反応の観点から詳解する。また,いくつかのフリーないし市販のシミュレーションソフトウェアの用例を示す。1章「シミュレーションの諸技法」では電子エネルギー分布・速度分布,プラズマの空間分布の計算法であるボルツマン方程式解析,モンテカルロ法,プロパゲータ法,流体モデルシミュレーションの原理について説明する。2章「各種プラズマのシミュレーション事例」では,前半で最近の先進的計算事例として,流体モデルを用いた誘電体バリア放電,ストリーマ,エッチング/化学気相堆積,熱プラズマのシミュレーション例,および,粒子モデルを用いたイオン挙動のシミュレーション例を示す。また,2章後半では気相に影響する諸過程として,固体表面における二次電子放出,誘電体表面の蓄積電荷,エッチング,気液界面,気相中の光電離を取り上げて説明し,併せてプラズマ駆動条件が気相に与える影響について述べる。3章「市販/フリープログラム使用例」では,BOLSIG+,CFD-ACE+Suite,COMSOL Multiphysics,FLUENT/JMAG,VSim,PEGASUS,STAR-CCM+による計算例を示す。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *気相 ,  *シミュレーション ,  モデリング ,  数値計算 ,  シミュレータプログラム ,  エネルギー分布 ,  Boltzmann方程式 ,  モンテカルロ法
準シソーラス用語： *放電プラズマ ,  シミュレーションソフトウェア ,  電子エネルギー分布 ,  流体シミュレーション ,  粒子シミュレーション

分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H)

引用文献 (205件)：

• T. Holstein: ′′Energy distribution of electrons in high frequency gas discharges′′, Phys. Rev. Vol. 70, No. 5-6, pp. 367-384 (1946)
• 電気学会放電技術委員会気体放電シミュレーション技法調査専門委員会 編: 電気学会技術報告(II部) 第140号 「気体放電シミュレーション技法」, pp.36-56 4 ボルツマン方程式 (1982)
• S. Yachi, H. Date, K. Kitamori and H. Tagashira: ′′A multi-term Boltzmann-equation analysis of electron swarms in gases′′, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol.21, No.6, pp. 914-921 (1988)
• S. Yachi, Y. Kitamura, K. Kitamori and H. Tagashira: ′′A multi-term Boltzmann-equation analysis of electron swarms in gases the time-of-flight parameters′′, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol. 24, No. 4, pp. 573-580 (1991)
• 猪股まどか,松村俊明,佐藤孝紀,伊藤秀範,中尾好隆: 「電子スオーム特性の多項近似解析」, 電気学会放電研究会資料 ED-93-93 (1993)

タイトルに関連する用語 (6件)： 報告 ,  放電 ,  プラズマ ,  気相 ,  シミュレーション ,  技法