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J-GLOBAL ID：202002257633587700   整理番号：20A1096862

LiDARのレーザー走査用MEMSミラーの最新技術:ラスターおよび全方向スキャナの設計から試作まで

著者 (2件)： 羽根一博 (東北大 大学院工学研究科) ,  佐々木敬 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
巻： 58  号： 5  ページ： 38-44  発行年： 2020年05月20日 
JST資料番号： S0624A  ISSN： 0913-7289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・LiDARは,自動運転の距離センサとして期待され,距離測定にはレーザを照射して反射して戻るまでの時間を測定する飛行時間測定法が利用。
・距離画像計測には,レーザビームの走査法が重要で,LiDAR走査用の回転ミラーの小型化と量産化が必要。
・MEMSミラーは,小型LiDAR用センサの実現に有用であるが,シリコンウェハを基本に設計するので,従来の機械設計と異なる制約や特徴を保有。
・レーザビームの角度走査に用いられるMEMSマイクロミラースキャナの原理,構造,設計および最新試作例について紹介。
・LiDAR用スキャナの光学構成を述べ,MEMSミラーの機械構造や走査運動などを説明。
・スキャナの例としてラスタースキャナ,ジンバル型全方位スキャナ,ジンバルレス型全方位スキャナなどを解説。

シソーラス用語： 光走査 ,  *レーザスキャナ ,  *反射鏡 ,  MEMS ,  マイクロマシニング ,  ウエハ【IC】 ,  レーザ照射 ,  センサ ,  機械設計 ,  自動運転 ,  距離測定 ,  距離画像 ,  飛行時間法 ,  小型化 ,  レーザビーム ,  走査装置 ,  *LIDAR ,  シリコンウエハ ,  ジンバル ,  *マイクロミラー ,  距離センサ ,  全方向 ,  改変
準シソーラス用語： *レーザレーダ ,  *MEMSミラー ,  ラスター走査 ,  レーザ走査 ,  全方位画像

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (12件)：

• U.Hofmann, et. al., J.Micro/Nanolith.MEMS MOEMS 13,no.1,(2014)011103
• 泉,他,日本機械学会論文集A,72,(2006)728.
• K. Suzuki, et.al, Int. Conf. Nano/Micro Eng. Mol. Sys. (NEMS) (2020) in press.
• H. M. Chu, et.al, Microsys. Technol. 24, (2018) 2159.
• T. Kobayashi, et.al., Int. Conf. Opt. MEMS Nanophoton. (2019) 142.

タイトルに関連する用語 (8件)： LIDAR ,  レーザー走査 ,  MEMSミラー ,  ラスター ,  全方向 ,  スキャナ ,  設計 ,  試作