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J-GLOBAL ID：202002264592731454   整理番号：20A2454633

硬X線光学用の3D円形形状キノフォームレンズのためのグレースケール電子ビームリソグラフィーの研究【JST・京大機械翻訳】

A study of greyscale electron beam lithography for a 3D round shape Kinoform lens for hard X-ray optics

著者 (7件)： Tong Xujie (Nanolithography and Application Research Group, School of Information Science and Engineering, Fudan University, Shanghai 200433, China) ,  Xu Chen (Nanolithography and Application Research Group, School of Information Science and Engineering, Fudan University, Shanghai 200433, China) ,  Zhu Jingyuan (Nanolithography and Application Research Group, School of Information Science and Engineering, Fudan University, Shanghai 200433, China) ,  Mao Chengwen (Shanghai Synchrotron Radiation Facility, Shanghai Advanced Research Institute, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201210, China) ,  Zhen Xiangjun (Shanghai Synchrotron Radiation Facility, Shanghai Advanced Research Institute, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201210, China) ,  Huang Wanxia (Beijing Synchrotron Radiation Laboratory, Institute of High Energy, Beijing 100039, China) ,  Chen Yifang (Nanolithography and Application Research Group, School of Information Science and Engineering, Fudan University, Shanghai 200433, China)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 234  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硬X線光学によるナノスケールの材料の高品質イメージングのために,高い集束/イメージング効率を有する高分解能レンズが必要である。Siの1D線形配置を有する屈折ベースの従来のKinoformレンズは数十年間試みられているが,製造の巨大な困難さのために成功の兆候はまだない。本論文では,各ゾーンが従来の1D対応物で見られるような典型的な3D放物線プロファイルを維持する,板上に円形形状のゴールデンKinoformレンズの新しい構成を提案した。本研究の主な焦点は,ゴールデンKinoformレンズのためのテンプレートとしてのグレースケール電子ビームリソグラフィー(EBL)による電子ビームレジストにおける3Dプロファイルの生成である。レジスト,開発者および電荷分布の比較を含むグレースケールリソグラフィー条件の系統的研究を,モンテカルロシミュレーションおよび電子ビームリソグラフィーを用いて行った。初期結果はレジスト中のゴールデンKinoformレンズの望ましい3Dプロファイルを複製するために達成された。テンプレートとしてレジストに生成したプロファイルを用いて,200μm直径と3.5μm高さのゴールデンKinoformレンズを初めて製作し,高分解能と高効率の硬X線イメージングのための既存のFresnelゾーンプレートを有望に置き換えた。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 集束 ,  *レンズ ,  *グレースケール ,  ケイ素 ,  画像処理 ,  *硬X線 ,  レジスト ,  一次元 ,  *三次元 ,  高分解能 ,  *電子ビームリソグラフィー
準シソーラス用語： *キノフォーム ,  モンテカルロシミュレーション ,  ナノスケール ,  Fresnelゾーンプレート , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ラウンドキノフォームレンズ ,  硬X線集束/イメージング ,  グレースケール電子ビームリソグラフィー ,  モンテカルロシミュレーション ,  近接効果

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 硬X線 ,  光学 ,  3D ,  円形 ,  キノフォーム ,  レンズ ,  グレースケール ,  電子ビームリソグラフィー ,  研究