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J-GLOBAL ID：202002274266357000   整理番号：20A1000934

低エネルギー電子衝突断面積セットの高精度推定

Estimation of accurate electron collision cross-section sets for gases in a low energy region

著者 (1件)： 佐藤孝紀 (室蘭工大 大学院)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 89  号： 5  ページ： 253-259  発行年： 2020年05月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子は,放電プラズマの発生・維持および放電プラズマの応用において必要な種を生成する主役を担っており,その振る舞いは,電子輸送係数によって記述される。放電プラズマ中の電子の振る舞いを正確に知ることで,放電プラズマを応用するプロセスや機器の性能をシミュレートすることが可能となり,近年のコンピュータの計算速度向上と記憶容量増加およびシミュレーション技術の向上と相まって,放電プラズマのシミュレーションが盛んに行われている。このシミュレーションで得られる情報は,放電プラズマの自在な制御にフィードバックできるので,より高い精度のシミュレーションへの要求が高まり,その結果として,電子輸送係数,および,その算出に用いられる電子衝突断面積にも高い精度が求められている。ここでは,低エネルギー領域(1000eV以下)における電子衝突断面積セットを,電子スオーム法を用いて高精度で推定する手法について述べるとともに,この方法で推定した水蒸気およびTEOSガスの電子衝突断面積セットについて説明する。(著者抄録)

シソーラス用語： *断面積 ,  エネルギー ,  *プラズマ ,  *輸送係数 ,  技術 ,  電子スウォーム ,  水蒸気 ,  脂肪族アルコール ,  *電子衝突断面積 ,  低エネルギー ,  *放電プラズマ ,  *電子輸送係数 ,  シミュレーション技術

分類 (1件)： 電子と分子の衝突・散乱  (BH07030A)

物質索引 (1件)： TEOS

引用文献 (47件)：

• 1) S. Kawaguchi, K. Takahashi, K. Satoh, and H. Itoh: Jpn. J. Appl. Phys. 55, 07LD03 (2016).
• 2) S. Kawaguchi, H. Higuchi, H. Li, K. Denpoh, K. Takahashi, and K. Satoh: Jpn. J. Appl. Phys. 58, 066003 (2019).
• 3) H.R. Skullerud: J. Phys. D 1, 1567 (1968).
• 4) W.H. Press, S.A. Teukolsky, W.T. Vetterling, and B.P. Flanneryet: Numerical Recipes 3rd ed., p. 364 (Cambridge University Press, Cambridge, UK, 2007).
• 5) V.D. Stojanović and Z.Lj. Petrović: J. Phys. D 31, 834 (1998).

タイトルに関連する用語 (3件)： 低エネルギー ,  電子衝突断面積 ,  推定