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J-GLOBAL ID：202002289388440692   整理番号：20A1884494

傾斜マイクロマルチフィン構造を有するMEMSモールドの作製と熱インプリントプロセスによる樹脂への形状移動

Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin structure and shape transfer to resin by thermal imprint process

著者 (5件)： Yahagi T. (Yamagata Research Institute of Technology, 2-2-1, Matsuei, Yamagata-city, Yamagata 990-2473, Japan) ,  Yahagi T. (Yamagata University Graduate School of Science and Engineering, 4-3-16, Jonan, Yonezawa-city, Yamagata 992-8510, Japan) ,  Murayama H. (Yamagata Research Institute of Technology, 2-2-1, Matsuei, Yamagata-city, Yamagata 990-2473, Japan) ,  Watanabe Y. (Yamagata Research Institute of Technology, 2-2-1, Matsuei, Yamagata-city, Yamagata 990-2473, Japan) ,  Mineta T. (Yamagata University Graduate School of Science and Engineering, 4-3-16, Jonan, Yonezawa-city, Yamagata 992-8510, Japan)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 59  号： SI  ページ： SIIJ02 (7pp)  発行年： 2020年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,水平および傾斜したマイクロマルチフィン構造の製造を記述し,樹脂材料への形状移動の実験結果を論じた。MEMS製作プロセスを用いて,マイクロスケールのリッジ構造を備えたマイクロモールド構造と,モルフォバタフライのスケールの数百ナノメートルサイズのマルチフィン構造をSi基板上に製造した。熱インプリントプロセスを用いて樹脂材料への形状移動を調べた。両型において,樹脂を鋳型のマルチフィン構造の狭い間隙に注入した。鋳型から水平マルチフィンに樹脂を外すのは困難であった。逆に,傾斜タイプでは,マルチフィン形状は樹脂に首尾よく移動して,破壊なしで解放された(ピッチ傾斜マルチフィン構造を有する0.2μmのピッチリッジ構造)。傾斜成形されたCOP樹脂の光反射を評価したところ,青色の光反射を示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *MEMS ,  成形充填 ,  微細構造 ,  フィン ,  マイクロマシニング ,  押付成形 ,  パターン形成 ,  熱サイクル ,  *微細加工 ,  *樹脂加工 ,  光反射 ,  表面性状
準シソーラス用語： 熱インプリント

分類 (1件)： その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  モールド ,  作製 ,  熱インプリント ,  プロセス